場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8200(冷場)(日立)
"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4個機型,均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。
掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術(shù),半導體?電子行業(yè),生命科學,材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來,新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復合材料等的研究作為*科學技術(shù)的中堅技術(shù),在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價,但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。
本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了化處理,使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm,"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外,低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大,并獲得高質(zhì)量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外,為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能,還對用戶輔助工能進行了強化,如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能,維護輔助功能等。
主要特點
1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
2. 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
(Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV,Regulus8100:1.1 nm/1 kV)
3. 倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1
4. 用戶輔助功能,幫助用戶把儀器的高性能發(fā)揮出來