德國 DektakXT臺階儀-第十代探針式表面輪廓儀

DektakXT 技術規(guī)格參數(shù)：

DektakXT 技術參數(shù)：

臺階高度重復性 5?

—單拱龍門式設計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

—*的”智能化電子器件”實現(xiàn)了低噪聲的新標準

—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了 40%

—64 位的 Vision64 同步數(shù)據(jù)處理軟件，將數(shù)據(jù)分析速度提高十倍。



功能，操作簡易

—直觀的 Vision64 用戶界面操作流程簡便易行

—自對準式探針設計使得更換探針的步驟簡便易行



探針輪廓儀，的價值

— 性能優(yōu)異, 物超所值

— 的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量

DektakXT

設計，性能

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三方面: 測量重復性, 測試速度和操作難易程度，這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質量和實驗操作的效率。DektakXT 采用全新的儀器系統(tǒng)構造和化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件來實現(xiàn)可靠、快速和簡易的樣品檢測，達到的儀器使用效果。

技術創(chuàng)新四十余載，不斷突破勇攀高峰



過去四十多年間，布魯克的臺階儀研制和生產(chǎn)一直在理論和實踐上不斷實現(xiàn)創(chuàng)新性成果——基于微處理器控制的輪廓儀，實現(xiàn)微米測量的臺階儀，可以達到 3D 測量的儀器，個人電腦控制的輪廓儀，全自動300mm 臺階儀——DektakXT 延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風格，全新的 DektakXT 成為一臺采用具有單拱龍門式設計配備D 攝像機，并且利用 64 位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。

世界范圍內(nèi)有成千上萬臺 Dektak 系列產(chǎn)品應用于各個領域，它們以優(yōu)質，可靠，高效等諸多特性而得到贊譽。人們?yōu)榱说玫骄_無誤的臺階高度和表面粗糙度信息，使用 Dektak 來進行測量。這里，我們通過介紹DektakXT 的各項功能，幫助您可靠高效地完成表面測量工作。

提高操作的可重復性

DektakXT 的多處設計保證了其的表現(xiàn),達到優(yōu)于 5 埃的測量重復性. 使用單拱龍門結構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker 完善了儀器的智能化電子器件，提高了其工作性能的穩(wěn)定性，降低溫度變化對器件的影響，并且采用的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用智能敏化電子器件,會把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到。因此采用DektakXT 測量系統(tǒng)，能夠更穩(wěn)定可靠地掃描高度小于10nm 的臺階，獲得其形貌特征。單拱龍門結構和智能器件的聯(lián)用，大大降低了基底噪音，增強了穩(wěn)定性，使其成為一個競爭力的表面輪廓儀。

提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

采用高速的直接驅動掃描樣品臺, DektakXT 在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次描的間隔時間。這一改進，提高了進行大范圍 3D 形貌表征或者表面長程應力掃描的掃描速度。在保證質量和重復性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高 40% 。另外，DektakXT 采 用 Bruker 具 有 64 位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，它可以提高大范圍 3D 形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。

Vision64 還具有直觀的用戶界面，簡化了實驗操作設置，可以自動完成多掃描模式，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔.

簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

為了便于操作可供多用戶使用的系統(tǒng)，一個必要條件就是能夠迅速簡便地更換不同模式所需要的探針。DektakXT 新穎的探針和部件自動對準裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。這一改進使原來費時耗力的實驗步驟變得簡便易行。為盡可能滿足所有應用的需求，布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針，其中包括專為深槽測量定制的高深寬比的探針。



完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與 DektakXT 的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是 Bruker Vision64 操作分析軟件。Vision64 提供了操作上簡潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。簡明的測量窗口集參數(shù)設定與硬件控制于一體，極富邏輯性，既可使不常使用儀器者輕松回憶起如何操作，又可使操作老手不至于為過多的基本重復步驟而煩惱或分心。

數(shù)據(jù)獲取后，軟件的自動調(diào)平，臺階識別分析，以及數(shù)據(jù)分析模塊的各種濾波功能等使得分析簡便快捷。使用數(shù)據(jù)分析模塊，不論是通過一個程式來處理單次掃描結果的標準分析，還是嘗試使用多種濾波設置和計算，使用者都可以清晰地看到數(shù)據(jù)處理結果以及其他可用的分析手段。



Vision64 隨時為用戶提供系統(tǒng)狀態(tài)的信息。比如，如右圖所示，軟件界面上顯示了得到整幅 3D 形貌圖像的過程，同時可獲得線性掃描的數(shù)據(jù)，可視化窗口還提供針尖在樣品表面實時掃描的情況，以及完成整幅圖像所需剩時。這一系列可視化的設置，幫助操作者迅速全面地得到所需的實驗室數(shù)據(jù)。

DektakXT在各個領域完成重要數(shù)據(jù)的采集處理







薄膜監(jiān)測 — 高效率的保證

對于半導體制造行業(yè)而言，及時監(jiān)測鍍膜膜厚和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應力，能節(jié)省寶貴的時間和金錢。不均勻的膜層或過大的應力，將導致差的優(yōu)良率和不合格的終端產(chǎn)品性能。DektakXT 易于設定、測量快捷，通過不同位置的多點自動測量可確認整片硅表面上薄膜的準確厚度，其精度可達納米級別。DektakXT 的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量，使其可以精確調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。

測量表面粗糙度 — 確保材料質量





在自動化，航空航天，醫(yī)藥領域等各行各業(yè)，如果需要精確測量材料表面的粗糙度，DektakXT 是一個非常理想的檢測儀器。比如在整形手術中需要植入的假體，在其背面涂覆的羥基磷灰石，它的表面粗糙度會影響假體植入到體內(nèi)后的黏附性和手術效果。使用 DektakXT 快速檢測材料表面的粗糙度，可以獲悉晶體材料的生長是否符合工程師的要求，或者手術所需的植入體是否通過醫(yī)學審核允許使用。使用 Vision64 軟件中的數(shù)據(jù)庫功能，設定合格/淘汰條件，品管人員可以輕松確定植入體是否需要再加工還是定為合格品。

太陽能電池柵線分析——降低生產(chǎn)成本

在太陽能領域，Dektak 已被作為測量單晶和多晶硅電池上主柵、銀線特征尺寸的設備。柵線的高度、寬度和連續(xù)性都直接影響了太陽能電池的能量傳輸能力。生產(chǎn)過程中的方案是節(jié)約貴金屬銀的使用量，同時又保證銀漿的量足夠覆蓋在電池板上，完成的電導特性。 DektakXT 可使用線條分析功能為用戶提供柵線的特征尺寸，以確保足夠的銀漿覆蓋，導電良好。Vision64 的數(shù)據(jù)分析方法和自動操作功能使這一檢驗核實的過程可以通過特定設置后自動完成。

微流體- 確保符合設計和質量要求

Dektak 是市場上可以測量敏感材質上高達 1mm 垂直臺階的臺階儀，而且測量重復性在埃米級別。DektakXT 為微機電系統(tǒng)和微流體工業(yè)的研究者提供了關鍵尺寸測量的可靠手段，以確保器件符合規(guī)格要求。超微力測量，Nlite+，可以保證在測量敏感材質時輕觸其表面而不破壞樣品表面，得到臺階高度或表面粗糙度數(shù)據(jù)。