型號 DC-M500
產(chǎn)品介紹:
DC-M500系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計是
松盛測控自主研發(fā)的一款數(shù)模一體的大量程產(chǎn)品,其量
程范圍可從100SLM至600SLM,適用于氫、氮、氧、一
氧化碳、二氧化碳、稀有氣體等近百種氣體;本產(chǎn)品采
用新型工藝,+24V DC供電,******耐壓可達(dá)3Mpa。
產(chǎn)品性能:
1.響應(yīng)速度快
2.耐壓程度高
3.抗干擾性強
4.數(shù)據(jù)傳輸遠(yuǎn)
5.流量******控制
應(yīng)用行業(yè):
真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、
食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護設(shè)備、各種分析儀
器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院
所實驗室設(shè)備。
注:
定。
2.質(zhì)量流量單位:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘) SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)
3.標(biāo)準(zhǔn)狀況:溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa(760mmHg) F.S(Full Scale)表
示滿量程