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三靶高真空磁控鍍膜濺射系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 13:52:13
  • 訪問(wèn)次數(shù)159
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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開(kāi)始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要?! ∩蜿?yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國(guó)客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家,并大量出口于美國(guó)?! ∩蜿?yáng)科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場(chǎng),主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來(lái),已與全國(guó)眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國(guó)科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國(guó)航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長(zhǎng)期合作的榮譽(yù)客戶?! ∩蜿?yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門設(shè)立了開(kāi)放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開(kāi)設(shè)以來(lái),制作的樣品達(dá)上千件,接待來(lái)訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪。在此,沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái),并希望您能提出寶貴的意見(jiàn)與建議。此外,沈陽(yáng)科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁┎少?gòu)建議與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽(yáng)科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)?! ∩蜿?yáng)科晶一路走過(guò)的歷程,是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來(lái),沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為國(guó)際市場(chǎng)上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
三靶高真空磁控鍍膜濺射系統(tǒng)
三靶高真空磁控鍍膜濺射系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:該設(shè)備為小型三靶磁控濺射鍍膜設(shè)備,通過(guò)模塊式化設(shè)計(jì)后,系統(tǒng)安裝方便靈活易于維護(hù),適合科研與教學(xué)實(shí)驗(yàn)使用。

產(chǎn)品型號(hào)

三靶高真空磁控鍍膜濺射系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

1、組成由單室超高真空雙靶磁控濺射室,由濺射真空室與管路組成。

2、配有旁抽系統(tǒng),啟動(dòng)快不停機(jī)即可更換樣品,重復(fù)性好。

3、用于鍍制各種單層膜、多層膜系,可實(shí)現(xiàn)單靶獨(dú)立、雙靶輪流、雙靶共濺射等濺射模式。

4、同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)磁控濺射,制備氮化物,氧化物等,可鍍金屬及導(dǎo)磁金屬、合金、化合物、半導(dǎo)體、介質(zhì)復(fù)合膜和其它化學(xué)反應(yīng)膜。

5、作為試驗(yàn)設(shè)備來(lái)說(shuō)達(dá)到了的性能價(jià)格比。

技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)由真空腔室、旋轉(zhuǎn)樣品架、磁控濺射靶、鎧裝加熱器抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、工作氣路、電控系統(tǒng)等各部分組成。

極限真空優(yōu)于:5.0x10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后)

真空漏率小于2.0x10-8Pa.l/S

系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?,再開(kāi)始抽氣,40分鐘可達(dá)到6.0x10-4Pa;

停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:5 Pa

1、 真空室腔體尺寸Ф300x350mm,手動(dòng)上開(kāi)蓋輔助液壓結(jié)構(gòu),前有一個(gè)觀察窗,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)內(nèi)部連接鎧裝加熱器、真空規(guī)、放氣閥等各種規(guī)格的法蘭接口,選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面采用電解拋光處理。采用金屬或氟橡膠圈密封。配備一體機(jī)柜標(biāo)準(zhǔn)電箱。

2、磁控濺射靶

靶材尺寸:Φ50mm(其中一個(gè)可以濺射磁性材料);

永磁靶一支、強(qiáng)磁靶一支:射頻濺射與直流濺射兼容,靶內(nèi)有水冷;配手動(dòng)擋板。

2個(gè)靶可共同向下面的樣品中心濺射,靶與樣品距離90~110mm可調(diào)。

3、鎧裝加熱樣品:

加熱區(qū)域?yàn)?Phi;100mmX100mm(H),基片加熱溫度 室溫-600°C±1°C,由熱電偶閉環(huán)反饋控制。

配有磁力轉(zhuǎn)軸,電機(jī)驅(qū)動(dòng)每分鐘低于30轉(zhuǎn)。

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、真空部件

進(jìn)氣角閥:2套;

RF100觀察窗:1套;

觀察窗法蘭:RF100  2個(gè);

電阻規(guī): KF16  1個(gè);

電極引線: CF25 1個(gè);

2、工作真空獲得及測(cè)量:

直聯(lián)6L/s機(jī)械泵: 1臺(tái);

F600分子泵:1臺(tái);

電磁KF20閥:1臺(tái);

5227真空計(jì):1臺(tái)

角閥RF16、管路、接頭、充氣閥D6等: 1路;

KF25電磁壓差閥: 1臺(tái);

CF100閘板閥:1臺(tái);

3、相關(guān)規(guī)格的金屬密封銅圈,氟橡膠密封圈

4、不銹鋼緊固螺栓、螺母、墊片等

5、安裝機(jī)臺(tái)架組件:

安裝臺(tái)架:整個(gè)設(shè)備安放在一個(gè)用承載式標(biāo)準(zhǔn)電箱上,箱體均進(jìn)行噴塑處理。拆卸方便占地小780mmX580mmx1100mm。

6、電源控制系統(tǒng)

電源布置在標(biāo)準(zhǔn)電箱上,安裝于系統(tǒng)機(jī)架上。

7、自制電源

控制電源:1臺(tái)(為機(jī)械泵、電磁閥等提供電源及過(guò)程控制帶邏輯監(jiān)測(cè));   

樣品加熱電源:1臺(tái)(日本產(chǎn)控溫表可實(shí)現(xiàn)程序控溫)室溫-600°C±1°C,由熱電偶閉環(huán)反饋控制。

8、配套電源

真空計(jì)電源:1套

直流DC500W電源:2套

流量顯示、流量控制器:1套

9、備品備件:1套

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