產品簡介:精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數字液體泵來控制,流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研究設備。
精密液體氣相發(fā)生器操作視頻
產品型號 | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點 | 1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過浮子流量計控制。 4、配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5、配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。 7、已通過CE認證。 |
技術參數 | 1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率:1000W 3、蠕動泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調) 4、工作溫度:300℃ 5、控溫精度:±1℃ 6、浮子流量計:0-2000ml/min(可調) 7、出氣口:外徑1/4″ |
產品規(guī)格 | 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg |
可選配件 | 加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)
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