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離子束刻蝕系統(tǒng) Mill 150 德國scia Systems 羅茨風(fēng)機

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公司名稱北京歐唐科技發(fā)展有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/8/31 9:48:24
訪問次數(shù)286

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北京歐唐科技發(fā)展有限公司（歐唐科技），成立于2007年，致力于光學(xué)精密制造與檢測領(lǐng)域，歐唐科技有著幾十年的光學(xué)領(lǐng)域研發(fā)經(jīng)驗，與業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的專家保持良好的合作關(guān)系，可以為相關(guān)領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢服務(wù)我們不僅代理儀器設(shè)備與軟件，同時也應(yīng)客戶的需求，研發(fā)定制的儀器與裝置。

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簡介sciaMill150適用于在多種材料復(fù)雜多層膜上的微結(jié)構(gòu)刻蝕

離子束刻蝕系統(tǒng) Mill 150 德國scia Systems 羅茨風(fēng)機產(chǎn)品信息

簡介

scia Mill 150適用于在多種材料復(fù)雜多層膜上的微結(jié)構(gòu)刻蝕。該系統(tǒng)對活性氣體相容，能夠進行反應(yīng)蝕刻工藝以提高選擇性和刻蝕速率。由于其節(jié)省空間的設(shè)計，scia Mill 150是小規(guī)模生產(chǎn)和研發(fā)應(yīng)用的理想選擇。

常規(guī)屬性

- 采用圓形離子源對全部樣品區(qū)域在惰性或反應(yīng)氣體環(huán)境下進行刻蝕

- 可進行離子束刻蝕（IBE、IBM）、反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE）和化學(xué)輔助離子束刻蝕（CAIBE）

- 刻蝕角度調(diào)整：樣品臺可以旋轉(zhuǎn)且傾斜可調(diào)

- 可獲得的均勻性而無需修正擋板

- 通過反應(yīng)氣體可以提高刻蝕速率，并控制刻蝕選擇性

- 通過基于SIMS（二次離子質(zhì)譜）或光學(xué)的截止點探測技術(shù)控制工藝

- 可配備晶圓載具（wafer carrier）以適用不同尺寸基底

- 可以刻蝕光刻膠晶圓，具有良好的樣品冷卻配置

系統(tǒng)性能