X-20B超低振動(dòng)超精細(xì)閉循環(huán)低溫恒溫器主要用于UHV環(huán)境。ARS生產(chǎn)的X-20B恒溫器是真正的UHV系統(tǒng)，真空度可達(dá)10-11 Torr，該產(chǎn)品全部用焊接接頭及金屬密封替換橡膠O圈密封，并在制冷機(jī)上直接焊接CF法蘭。
X-20B系列恒溫器的冷頭可以直接從該系統(tǒng)上移除且不會(huì)破壞系統(tǒng)真空度，所以X-20B系統(tǒng)的另一個(gè)優(yōu)勢(shì)就是可以輕松烘烤到200℃。
X-20B系列恒溫器使用氦氣交換冷卻樣品，系統(tǒng)振動(dòng)級(jí)別僅為3-5nm，樣品處溫度可達(dá)3.5K,溫度可達(dá)800K。
應(yīng)用實(shí)例
• 低振動(dòng)UHV應(yīng)用
• 顯微實(shí)驗(yàn)
• 表面物理
• 納米材料
典型特點(diǎn)
• 3-5 nm超低振動(dòng)
• 10-11 Torr真正的超高真空環(huán)境
• 移除冷頭可烘烤至200℃
• 開放的樣品空間
• 冷頭朝下放置
• 可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制
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DE202*F-DMX-20振動(dòng)譜 |
標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)
• DE-202/DE-204/DE-210冷頭
• ARS-2HW壓縮機(jī)
• 2 根柔性氦氣傳輸管道
• DMX-20超低振動(dòng)接口
• 6英寸可旋轉(zhuǎn)CF法蘭
• 鎳鍍金無(wú)氧銅防熱輻射屏
• 供溫度測(cè)試和控制的儀表群
• 10 針UHV電學(xué)接頭
• 50 歐姆片狀加熱器
• 為控溫而備的精度為± 0.5 K的硅二極管溫度計(jì)
• 精度為±12 mK的校準(zhǔn)型硅二極管溫度計(jì)(帶4英尺線纜供樣品的精確測(cè)試）
• 電學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)接線
• 10 針電學(xué)接頭
• 4 根測(cè)試線
• 光電實(shí)驗(yàn)用樣品座
• 溫控儀
可選配置及升級(jí)選項(xiàng)
• 用于非標(biāo)結(jié)構(gòu)的4.5英寸法蘭
• 可選8英寸法蘭
• 4 K 冷頭
• 6 K 冷頭
• 450 K高溫臺(tái)
• 800 K 高溫臺(tái)
• 可定制溫度計(jì)結(jié)構(gòu)
• 可定制接線結(jié)構(gòu)
• 可定制樣品座
技術(shù)參數(shù)
| 冷卻技術(shù)--閉循環(huán)制冷機(jī) |
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| 制冷方式 | 氣動(dòng)GM制冷 | |
| 液體冷凍劑 | 無(wú)需制冷劑 | |
| 樣品區(qū)溫度范圍：< 10K - 350K （溫可選7K,3.5K;高溫可選450K,800K） | ||
| 溫度穩(wěn)定性 | ±50mK | |
| 樣品空間 | ||
| 直徑 | 大，開放式防熱輻射屏 | |
| 高度 | 大，開放式防熱輻射屏 | |
| 樣品架 | ||
| 樣品腔接口 | ||
| 法蘭 | CF, ISO | |
| 尺寸 | 4.5英寸、6英寸、8英寸和10英寸(4.5英寸法蘭非標(biāo)準(zhǔn)可能不適用于所有腔室) | |
應(yīng)用示例
| DMX-20應(yīng)用于穆斯堡爾譜 | |
| 關(guān)閉冷頭  計(jì)算參數(shù)： 寬度=0.269 mm/s w13=1.17 W23=1.08 ISO=0.000毫米/秒 bhf=32.94噸 校準(zhǔn)光譜： 金屬箔測(cè)量（厚度25 mm） | 開啟冷頭  計(jì)算參數(shù)： 寬度=0.270 mm/s w13=1.21 W23=1.11 ISO=+0.115毫米/秒 bhf=33.81噸 校準(zhǔn)光譜： 金屬箔測(cè)量（厚度25 mm） |
| 當(dāng)系統(tǒng)正確安裝在墻壁和工作臺(tái)上并進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整后，壓縮機(jī)工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)影響非常?。◣缀蹩梢院雎圆挥?jì)）。 加寬（不是擴(kuò)大?。┛蓮?fù)制，遠(yuǎn)低于2%。這種加寬實(shí)際上沒(méi)有任何影響，幾乎在所有情況下都可以忽略。但是，比較林寬度的時(shí)候需要用同樣計(jì)算方式！ Displex系統(tǒng)實(shí)際上是無(wú)振動(dòng)的！ Prof. Dr. habil. Michal Kopcewicz,電子材料技術(shù)研究所 波蘭華沙 | 穆斯堡爾譜低溫恒溫器, DMX-20
Prof. Dr. habil. Michal Kopcewicz |
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穆斯堡爾譜配置 | |
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為了限度地隔離振動(dòng)，系統(tǒng)的正確安裝是非常重要的。ARS提供了一個(gè)特殊的超低振動(dòng)支架用于隔離超低振動(dòng)恒溫器來(lái)自冷頭和地板的振動(dòng)。 該支架可以通過(guò)調(diào)節(jié)到恰當(dāng)?shù)母叨葋?lái)支撐冷頭。 低溫恒溫器安裝在低振動(dòng)平臺(tái)上。它由一個(gè)高質(zhì)量的花崗巖塊（用戶提供）組成，由4氣腿支撐（可選ARS產(chǎn)品）。額外的彈性隔震器過(guò)濾掉從地板到低溫恒溫器的振動(dòng)。 系統(tǒng)可通過(guò)關(guān)閉制冷機(jī)來(lái)觀察振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)的影響來(lái)進(jìn)行測(cè)試。 | |
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橢圓偏振計(jì) | |
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應(yīng)用于SOPRA橢圓偏振計(jì)的超低振動(dòng)系統(tǒng) | |
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SEM 設(shè)備 | |
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上圖展示了Displex和它的界面。照片中所有不銹鋼的部分都是對(duì)我們的JSM-5910掃描電鏡的升級(jí)。請(qǐng)注意我的網(wǎng)站上發(fā)表的論文，其中演示了用這個(gè)低溫系統(tǒng)獲得的CL的結(jié)果。 樣品溫度介于40 K和50 K之間。 Prof. Dan Rich 以色列比爾舍瓦本古里安大學(xué) |
上圖為生長(zhǎng)在帶圖案的GaN襯底上的InGaN/GaN量子阱. 該圖案由周期為10微米的條紋組成。 采用390 nm檢測(cè)波長(zhǎng)拍攝的單色CL圖像(Mag. 2000)。 室溫和50K的圖像質(zhì)量對(duì)比表明振動(dòng)小于10nm。 |
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FTIR 測(cè)試 | |
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超低振動(dòng)系統(tǒng)用于FTIR分光儀，帶有3個(gè)樣品的樣品座可在Z軸方向進(jìn)行移動(dòng)。 |
超低振動(dòng)系統(tǒng)用于BOMEM, DA8 FTIR分光儀。 |
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電磁測(cè)試 | |
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該款低溫恒溫器尾部真空罩緊湊，可使樣品插入到小型磁體孔進(jìn)行測(cè)試。 |
該款低溫恒溫器尾部真空罩緊湊，可使樣品插入到小型磁體孔進(jìn)行測(cè)試。 |
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磁光測(cè)試 (MOKE) | |
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超低振動(dòng)低溫恒溫器用于MOKE（磁光克爾效應(yīng)）。 樣品可以根據(jù)情況放置在任意平面。極距可低至1英寸。 |
小直徑真空外殼可以插入狹窄的間隙（高場(chǎng)）。 光學(xué)窗口允許從樣品中收集光。 對(duì)于短焦距物鏡，窗口可以無(wú)限接近樣品 |
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