采用雷射干涉計(jì)方式
雷射檢出器 雷射光源置于檢出器外部,以光先導(dǎo)入光路差被增光學(xué)系,不會(huì)因光熱而產(chǎn)生漂移。
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采用雷射干涉計(jì)方式
雷射檢出器 雷射光源置于檢出器外部,以光先導(dǎo)入光路差被增光學(xué)系,不會(huì)因光熱而產(chǎn)生漂移。
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