數(shù)字式工具顯微鏡
5.規(guī)格參數(shù):
5.規(guī)格參數(shù):
5.1工作臺(tái)
X坐標(biāo)行程:200mm
Y坐標(biāo)行程:100mm
X、Y坐標(biāo)分辨率:0.0002mm
X坐標(biāo)行程:200mm
Y坐標(biāo)行程:100mm
X、Y坐標(biāo)分辨率:0.0002mm
5.2測(cè)量準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm,其中 L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位:mm
平工作臺(tái)尺寸(mm):260×270
圓工作臺(tái)直徑:ф213mm
圓工作臺(tái)角度分劃范圍:0°~ 360°
圓工作臺(tái)角度分度值:30"
平工作臺(tái)尺寸(mm):260×270
圓工作臺(tái)直徑:ф213mm
圓工作臺(tái)角度分劃范圍:0°~ 360°
圓工作臺(tái)角度分度值:30"
5.3物鏡
物鏡放大率 | 總放大率 | 工作距離 | 視場(chǎng)直徑 |
1× | 10× | 79.2mm | 20mm |
3× | 30× | 69.3mm | 6.6mm |
5× | 50× | 50mm | 4mm |
5.4主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30'
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30'
5.5測(cè)角目鏡
角度分劃范圍:360°
角度分度值:1'
角度分劃范圍:360°
角度分度值:1'
5.6輪廓目鏡
角度分劃范圍:±7°
角度分度值:10'
角度分劃范圍:±7°
角度分度值:10'
5.7頂針裝置
頂針間的*大夾緊長(zhǎng)度:700mm
頂針間能容納的*大直徑:ф100mm
頂針間的*大夾緊長(zhǎng)度:700mm
頂針間能容納的*大直徑:ф100mm
5.8高頂針架
高頂針架*大夾緊長(zhǎng)度:200mm
高頂針架能容納的*大直徑:ф250mm
高頂針架*大夾緊長(zhǎng)度:200mm
高頂針架能容納的*大直徑:ф250mm
5.9數(shù)顯分度頭
數(shù)顯分度頭角度分劃范圍:0°~ 360°
數(shù)顯分度頭角度分度值:5″
數(shù)顯分度頭角度分劃范圍:0°~ 360°
數(shù)顯分度頭角度分度值:5″
5.10光學(xué)定位器
測(cè)量范圍(mm):5 ~ 200
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3°
*小探測(cè)孔徑:ф5mm
*大探測(cè)深度:15mm
定位變動(dòng)性: <1μm
測(cè)量力(N):0.1±0.03
測(cè)量范圍(mm):5 ~ 200
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3°
*小探測(cè)孔徑:ф5mm
*大探測(cè)深度:15mm
定位變動(dòng)性: <1μm
測(cè)量力(N):0.1±0.03
5.11儀器主機(jī)外形尺寸(mm)
長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×800
長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×800
5.12儀器重量:450kg
5.13環(huán)境要求
室內(nèi)溫度20℃±1℃,相對(duì)濕度小于60%
5.13環(huán)境要求
室內(nèi)溫度20℃±1℃,相對(duì)濕度小于60%