G75PT 美國FIL-TECH 離子規(guī)IONIZATION GAUGE TUBES
MKSPPCMA-33858氣體流量控制器維修
LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修385620-4-ge-t-00049真空計MKS
AMAT0224-49143：LINTEC氣體流量計LM-1100M-7 TEOS 0.2g/min
深圳市天鉉真空技術有限公司
MKS MODE：1179A00452CR1BV真空計 流量計美國 日本 聯(lián)系
Inner shadow Ring Wxz 150 mm AMAT PN: 0200-10004 (6" SMF)
motor（YASKAWA motor）
bellows
motor
chiba
precision motor
主要用于wafer
loader，wafer stage各部位控制馬達
2，常用的手臂
fetch
arm
load/unload arm
3，鹵素燈
鹵素燈包括NIKON和USHIO
4，LSA
HE-NE激光管，激光干涉計interferometer
5，NIKON其它各類備件，如電路板等
6，NIKON電路板維修（以壞換好）等
深圳市天鉉真空技術有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修
萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。
萊寶公司生產(chǎn)用制冷機冷卻低溫泵。
客戶得益
低溫泵的優(yōu)勢：
- 所有氣體都有高抽速
- 對水汽有的抽速
對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。
低溫泵的優(yōu)勢2：
與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側沒有任何機械活動
部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至
≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空
- 對外部振動不敏感
其它優(yōu)點：
- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）
- 僅啟動和再生期間需要前級泵
- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控制
- 性價比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應用
萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。
有關COOLVAC系列低溫泵的設計，請見以下示意圖的內容。
一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。
根據(jù)泵的型號和工作條件不同，達到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。
熱輻射防護屏和障板為銅質，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。
另外，熱輻射防護屏經(jīng)過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。
根據(jù)工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。
COOLVAC制冷機低溫泵
COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設置，過壓150mbar（113托）時打開。
為了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。
低溫泵的再生
低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內，飽和后必須泵排出。
具體操作方法是關閉壓縮機并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體排出。
非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內吹掃干燥、預熱的惰性氣體（例如氮氣）加熱低溫區(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。
多臺低溫泵組合操作
由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時驅動兩個以上冷頭或低溫泵。
客戶得益
- 極大的降低投資和操作成本
- 占地面積小
萊寶真空全自動加熱再生低溫泵
低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內可以達到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個接一個
被釋放：
- 吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、 氦氣、氖氣）
- 冷凝在冷傘上的氣體（例如氮氣、 氧氣、氬氣）
真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。
2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。
3. 特殊低溫泵
萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵，如為航天環(huán)境模擬應用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細信息請和我們聯(lián)系。
典型應用
- 蒸發(fā)器
- 濺射系統(tǒng)
- 離子注入機
- 光學鍍膜機
