介紹
VEGA第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡,采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統(tǒng),集成了Essence™ EDS 分析平臺(tái),將掃描形貌圖像與元素實(shí)時(shí)分析集成于同一個(gè)掃描窗口中,大大簡(jiǎn)化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數(shù)據(jù)分析工作,使得全新的第四代VEGA SEM成為在樣品檢測(cè)及研究方面的更高效的分析手段。
大視野光路(Wide Field Optics™)
n在2倍放大倍率視野下,無(wú)需導(dǎo)航相機(jī)即可輕松實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航。
n大視野無(wú)畸變的圖像實(shí)時(shí)觀測(cè),可連續(xù)放大感興趣的區(qū)域,無(wú)需光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)。
n與預(yù)傾斜樣品臺(tái)配合使用,對(duì)于需要傾斜分析的樣品,支持掃描傾斜校正,從而實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的導(dǎo)航。
實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)(In Flight Beam Tracing™)
n無(wú)需更換光闌調(diào)節(jié)電子束強(qiáng)度,電子束強(qiáng)度連續(xù)可調(diào);
n一鍵即可達(dá)到理想分辨率的束流
n 中間鏡設(shè)計(jì)(Intermediate LensTM)
Single VacTM 模式
專(zhuān)為觀測(cè)不導(dǎo)電樣品和電子束敏感的樣品設(shè)計(jì)
nVEGA標(biāo)配全新的 SingleVac™ 模式,出廠預(yù)設(shè)了 SingleVac™ 的真空值,無(wú)需表面導(dǎo)電涂層處理,可直接觀察不導(dǎo)電樣品
nUniVac™ 模式(選配)實(shí)現(xiàn)壓力的持續(xù)可調(diào),可變壓力可達(dá) 500 Pa
n真空緩沖節(jié)能單元(Vacuum Buffer)(選配),可顯著縮短機(jī)械泵的運(yùn)行時(shí)間
n4Q BSE探測(cè)器可從不同角度采集信號(hào)
注:VEGA Compact不具備Single VacTM 模式
集成的Essence™ EDS 分析平臺(tái)
Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實(shí)現(xiàn)SEM成像和元素成分分析
n無(wú)需第三方附件及鏈接
n無(wú)需進(jìn)行SEM與EDS圖像的位置,標(biāo)尺及亮度對(duì)比度的調(diào)節(jié)
n無(wú)需二次采集圖像
nSEM 圖像沒(méi)有邊緣畸變
Essence™ 3D防碰撞模塊
n3D圖像直觀顯示探測(cè)器及樣品臺(tái)的位置
n快速搜索
n操作步驟撤銷(xiāo),提升操作效率或防止誤操作
應(yīng)用案例