真空閥門的概述及參數(shù)
概述
SP Speedivalves（帶氟橡膠或丁腈橡膠隔膜）是密封的管線隔離閥，采用薄膜和閥座布置，可用在不平整、不清潔的系統(tǒng)中。這種閥配有位置指示器，僅適用于管線安裝。
IBV 球閥具備實用的日常功能，此外還采用高規(guī)格設(shè)計，因此易于使用，經(jīng)濟劃算。這些堅固的閥使用 316L 不銹鋼制造，采用全通徑設(shè)計，適合廣泛的真空應(yīng)用。
PVMK 閥是快速反應(yīng)的杠桿操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無油脂的真空環(huán)境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造，是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。
PVPK 閥是快速反應(yīng)的氣動操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無油脂的真空環(huán)境。這種閥帶有直觀和電子的閥狀態(tài)指示功能，可以選擇鋁或不銹鋼制造，是一種適合高循環(huán)負荷的低價閥。
PVEK 閥是緊湊的輕型電磁閥操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封環(huán)，可用于提供無油脂的真空環(huán)境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造，是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。
BRV 閥是手動或氣動執(zhí)行的前級/粗抽閥。它是一個完整的 3 接口裝置，集獨立的前級/粗抽閥的功能于一身。具備多種控制和指示功能，是一種價格低廉、安全可靠、易于操作的閥。
SIPVP 閥是氣動操作的軟啟動型閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導(dǎo)致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。
ISO 帶法蘭插板閥系列可采用多種材料和密封方式，提供的整體密封性和真空完整性，同時具有的導(dǎo)電性。這種閥采用氣動或手動執(zhí)行方式，附帶多種控制和指示功能。
CF 帶法蘭插板閥可采用多種材料和密封方式，提供的整體密封性和真空完整性，同時具有的導(dǎo)電性。這種閥采用氣動或手動執(zhí)行方式，附帶多種控制和指示功能，而且采用可加熱式設(shè)計。
BGV 地下室插板閥經(jīng)過針對性設(shè)計，采用簡單、創(chuàng)新的楔形密封系統(tǒng)，消除了傳統(tǒng)插板閥所使用的復(fù)雜機械裝置。其優(yōu)勢包括在真空內(nèi)不需要油、油脂和移動部件，因此降低了機械裝置被制程中的粉塵污染的風(fēng)險。
QSB 直角回轉(zhuǎn)蝶閥是設(shè)計緊湊、反應(yīng)迅速的高導(dǎo)電性隔離閥。采用不銹鋼制造，帶有 O 形密封圈，氣動或手動執(zhí)行。
進氣閥系列共有三種設(shè)計，適合多種應(yīng)用。從簡單的螺紋塞設(shè)計到由電磁閥操作的閥，這些閥可安裝在面板或管道上，是向真空系統(tǒng)進氣的理想產(chǎn)品。 除了進氣閥，Edwards 還提供可安裝在面板或管道上的針閥，用于精細控制真空系統(tǒng)中的進氣。
電控氣動控制閥可用來控制氣動執(zhí)行的真空閥的運行?？刂崎y包括 3 接口和 5 接口兩種型號，提供不同的電源電壓和頻率來適合您的應(yīng)用。
參數(shù)
名稱 | 類型 | 主體材料 | 閥座的泄漏值 | 通過閥體的泄漏值 | 重量 |
AV5A | 吸氣閥 | HE30 鋁 / 鍍鎳黃銅 | 10-7 mbar ls-1ls-1 | 10-1 mbar ls-1 | 85 g |
AV10K | 吸氣閥 | HE30 鋁 | 10-7 mbar ls-1 | 10-1 mbar ls-1 | 100 g |
BGV | 插板閥 | AISI 304 不銹鋼 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 | 3.3-17.7kg | |
BRVPK | 粗抽閥 | HE 30TF 鋁 | < 10-9 mbar ls-1 | 350-900g | |
CF | 插板閥 | AISI 304 不銹鋼 | < 10- 9 mbar l s- 1 | 73 kg | |
IBV | 球閥 | AISI 316L 不銹鋼 | 1 x 10-6 mbar ls-1 | 0.75-4.3kg | |
IPVA10FK | 吸氣閥 | 鋁 | 1 x 10-9 mbar ls-1 | 310g | |
IPVMK | 手動操作隔離閥 | HE30TF 等級的鋁或 AISI304 等級的不銹鋼 | < 10-9 mbar ls-1 | 180-3300g | |
ISO | 插板閥 | AISI 304 不銹鋼 | < 10- 9 mbar l s- 1 | ||
LCPVEK | 電磁閥 | 鋁、不銹鋼 | < 1 x 10-6 mbar ls-1 | ||
LV10K | 針閥 | 鋁 HE30 | 10-7 mbar ls-1 / 8 x 10-8 Torr ls -1 | 10-7 mbar ls-1 | 138 g |
PVEK | 電磁閥 | HE30TF 鋁 | < 1 x 10-9 mbar ls- 1 | 800g | |
PVPK | 氣動隔離閥 | HE30TF 鋁 | < 1 x 10-9 mbar ls- 1 | 310-4000g | |
QSB | 蝶閥 | AISI 304 不銹鋼 | < 10-9 mbar ls-1 | ||
SIPV | 軟啟動閥 | HE30TF 鋁 | 10-9 mbar l s- 1 | ||
SP | 管線隔離閥 | 符合 BS1490 的鋁合金 | 10-6 mbar ls-1 | 230-2300g |
