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日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產(chǎn)設備

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更新時間：2023-04-10 15:30:22瀏覽次數(shù)：231次

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產(chǎn)品簡介

日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產(chǎn)設備 SGX-1G21SNC 型號：SGX-1G21SNC 品牌：日本住友臭氧濃度：0-150ppm 臭氧產(chǎn)量：150ppm 使用......

詳細介紹

住友的潔凈臭氧水制造設備是將潔凈臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體溶解于超純水中，生成臭氧水的裝置。

限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出，在半導體、液晶等電子設備材料的制造過程中，用于去除有機物、表面改性等用途，得到眾多客戶的高度評價評價。。

應用領域

半導體

各種晶圓

FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

硬盤

SGX-1G21SNC規(guī)格

臭氧水濃度：5至100ppm

臭氧水流量：1 至 120 升/分鐘

臭氧水供給壓力：max.0.25MPa

原料氣：氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）

電源：AC200V 三相

SGX-1B11SN規(guī)格

臭氧水濃度 5至150ppm

臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘

原料氣氧氣，（二氧化碳作為濃度衰減的對策）

電源 AC200V 三相

SGXG規(guī)格

臭氧水濃度：5-30ppm

臭氧水流量：1 至 60 升/分鐘

原料氣：氧氣（二氧化碳作為濃度衰減的對策）

電源：AC200V 三相

特征

能夠處理高濃度和大流量

占地面積小，結構緊湊

低廉的運行成本（低功耗、更換部件少、放電電池壽命長）

高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池

快速啟動和出色的集中響應能力

通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現(xiàn)出色的濃度穩(wěn)定性

CE/NRTL 認證，符合 SEMI 標準

停機時無需維護

也可提供不含硝酸的臭氧水

與日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產(chǎn)設備相關的實驗現(xiàn)場

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