數(shù)字式系列質(zhì)量流量控制器可通過(guò)定制化的高速比列調(diào)節(jié)閥精確測(cè)量與控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量體積流量及壓力，還可同時(shí)測(cè)量并顯示氣體溫度。
特點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)精度0.8%RD+0.2%F.S 高精度0.4%RD+0.2%F.S
有效控制范圍0.5-99% 內(nèi)置90至130條氣體曲線可選
響應(yīng)速度100ms 多種數(shù)字信號(hào)可選
基本參數(shù)
| 產(chǎn)品性能 | 質(zhì)量流量控制器 |
| 流量范圍 | 0.5sccm-5000slpm |
| 精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
| 高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備 |
| 標(biāo)定氣體 | 內(nèi)置90條氣體可選擇 |
| 重復(fù)性 | ± 0.2% F.S |
| 零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
| 工作壓力 | 10bar |
| 可控流量 | 102.4% F.S |
| 典型響應(yīng)時(shí)間 | 100 毫秒(可調(diào)整) |
| 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | < 1 秒 |
| 工作溫度 | −10 ~ +50 ºC |
| 工作濕度范圍 (非冷凝) | 0 ～ 99% |
| 內(nèi)部工作壓力(靜壓) | 145 psig |
| 極限壓力 | 175 psig |
| 對(duì)安裝方式/方向的要求 | 任意 |
| 閥門(mén)狀態(tài) | 閥門(mén)常閉 |
| 通訊 / 電源 | 質(zhì)量流量控制器 |
| 單色/彩色 LCD 顯示屏 | 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數(shù)字信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)RS-232 選配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V 1-5V-0-10V 選配4-20mA |
| 電信號(hào)接口 | 標(biāo)準(zhǔn)圓形8針 選配圓形6芯 DB9針 DB15針 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 20SLM以為 250mA 50SLM以為750mA 5000SLPM消耗2000mA電流 |
| 流量 | 壓損(spig)排放大氣中 | 接口 |
| 0.5-50SCCM | 1.0 | 1/8NPT母螺紋 |
| 100-500SCCM | 1.0 | |
| 1SLM | 1.5 | |
| 2SLM | 3.0 | |
| 5SLM | 2.0 | |
| 10SLM | 5.5 | |
| 20SLM | 20.0 | |
| 50SLM | 2.0 | 1/4NPT母螺紋 |
| 100SLM | 3.2 | |
| 250SLM | 2.4 | 1/2NPT母螺紋 |
| 500SLM | 6.5 | 3/4NPT母螺紋 |
| 1000SLM | 14.0 | |
| 1500SLM | 17.0 | |
| 2000SLM | 28.6 | |
| 3000SLM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺紋 |
| 5000SLM | 14.1 | 2NPT母螺紋 |
