薄膜無損檢測系統(tǒng),半導(dǎo)體無損檢測系統(tǒng)
l 產(chǎn)品特點(diǎn)
系統(tǒng)使用獲得zuanli的光聲技術(shù)設(shè)計(jì)無損測量系統(tǒng)。
源自 CNRS 和波爾多大學(xué)的技術(shù)轉(zhuǎn)讓,它依靠激光、材料和聲波之間的相互作用實(shí)驗(yàn)超精密材料物性,薄膜厚度檢測
系統(tǒng)使用無接觸,無損光學(xué)測量。運(yùn)用激光產(chǎn)生100GHz以上超高頻段超聲波,以此檢測獲得材料諸如厚度,附著力,界面熱阻,熱導(dǎo)率等。
產(chǎn)品尤其適測量從幾納米到幾微米的薄層,無論是不透明的(金屬、金屬氧化物和陶瓷),還是半透明和透明的。 這種全光學(xué)無損檢測技術(shù)(without contact, no damage, no water, no Xray)不受樣品形狀的影響。
產(chǎn)品適用精度可以達(dá) 1nm to 30 microns , Z軸分辨率為亞納米
于此同時,系統(tǒng)提供附著力、熱性能(納米結(jié)構(gòu)界面熱阻)測量分析
多種材料適用性
廣泛的材料至關(guān)重要。我們的技術(shù)已證明其能夠測量許多金屬材料以及陶瓷和金屬氧化物,并且不受外形因素的影響。
廣泛的應(yīng)用中發(fā)揮作用
半導(dǎo)體行業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)為我們周圍遇到的大多數(shù)電子設(shè)備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進(jìn)行多次薄膜沉積,。
工業(yè)過程中,厚度測量和界面表征都是確保質(zhì)量的關(guān)鍵。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)中多層/單層不透明薄膜沉積
對于以上問題,我們針對提供:
-高速控制檢測
-無損無接觸測量
-單層/多層測量
顯示行業(yè)
今天,不同的技術(shù)競爭主導(dǎo)顯示器的生產(chǎn),而顯示器在我們的日常使用中無處不在。事實(shí)上,由于未來 UHD-8K 標(biāo)準(zhǔn)以及新興柔性顯示器的制造工藝,這不斷擴(kuò)大的行業(yè)存在技術(shù)限制
單個像素仍然是一堆薄層有機(jī)墨水、銀、ITO……在這方面,控制薄層厚度的問題仍然存在。這些問題可能會導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量缺陷。
對此我們可提供:
- 對此類層級樣品的檢查。
- 提取厚度的可能性。
- 非破壞性和非接觸式厚度測量。
薄層沉積
無論是在航空工業(yè)還是科研制造領(lǐng)域,技術(shù)涂層都可用于增強(qiáng)高附加值部件中的某些功能。這些涂層的厚度隨后成為確保目標(biāo)性能的關(guān)鍵因素。
接觸式破壞測量對于此領(lǐng)域會帶來特定問題,且受限于待測樣品形狀因素、曲率等原因,很難控制樣品特性
對此我們可以提供:
不改變樣品形貌無損檢測(Form factor postage)
快速厚度測量
在線測量控制
部分合作單位