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大行程納米平移臺(tái)(壓電馬達(dá)型,10-150mm行程)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海昊量光電設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間2024/2/15 13:22:11
  • 訪問(wèn)次數(shù)152
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上海昊量光電設(shè)備有限公司是目前國(guó)內(nèi)光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,也是近年來(lái)發(fā)展迅速的光電代理企業(yè)。除了擁有一批專業(yè)技術(shù)銷(xiāo)售工程師之外,還有擁有一支強(qiáng)大技術(shù)和支持隊(duì)伍。我們的技術(shù)和支持團(tuán)隊(duì)可以為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統(tǒng)集成等工作。不但為客戶提供適合的產(chǎn)品,而且為客戶提供完善的服務(wù)是我們始終秉承的理念!

自2008年成立以來(lái),昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷(xiāo),致力于引進(jìn)國(guó)外很具*性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國(guó)內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來(lái)自美國(guó)、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國(guó)防等。

昊量光電堅(jiān)持“專業(yè)源自專注,專注成就未來(lái)”的經(jīng)營(yíng)理念。近年來(lái),我們專注于前沿的細(xì)分市場(chǎng),為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、*激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

秉承誠(chéng)信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀,昊量光電堅(jiān)持以誠(chéng)信為基石,憑借高效的運(yùn)營(yíng)機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值,實(shí)現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造*的代理服務(wù)品牌!

分析儀,光譜儀
納米級(jí)高速大行程XLS系列線性,是由超聲波驅(qū)動(dòng),可提供不同行程的精確定位
大行程納米平移臺(tái)(壓電馬達(dá)型,10-150mm行程) 產(chǎn)品信息

納米級(jí)高速大行程


XLS系列線性,是由超聲波驅(qū)動(dòng),可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng),速度可達(dá)到200mm/s,并且該平臺(tái)適用于掃描,可提供恒定的掃描速度,速度不穩(wěn)定性低于2%。

該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá),對(duì)于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過(guò)接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過(guò)橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng),并通過(guò)高頻率產(chǎn)生的速度,并且沒(méi)有噪聲,電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖,由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸,大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km。


XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程,行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用,平臺(tái)集成不同精度的,根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類(lèi)線性平臺(tái)

1)集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp1250nm,


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

1250

nm

unidirectional   repeatability

±1250

nm

bidirectional   repeatability

±2500

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

2)集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp350nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

350

nm

unidirectional   repeatability

±350

nm

bidirectional   repeatability

±700

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp80nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

80

nm

unidirectional   repeatability

±80

nm

bidirectional   repeatability

±160

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp25nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

25

nm

unidirectional   repeatability

±25

nm

bidirectional   repeatability

±50

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m


此外,由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),可以組成多維位移平臺(tái),例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。


 

主要特點(diǎn):

l  大行程 (100mm)

l  高精度(25nm)

l  高速度(100mm/s)

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用:

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

 


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