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NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海巨納科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/2/16 13:49:38
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)156
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上海巨納科技有限公司是一個(gè)集科、工、貿(mào)為一體的現(xiàn)代化高科技企業(yè),下屬多家生產(chǎn)工廠(chǎng)和貿(mào)易公司,主要從事太陽(yáng)能、光通信、生物化學(xué)、國(guó)際貿(mào)易、耗材配件等業(yè)務(wù)。公司分有光通信事業(yè)部、太陽(yáng)能事業(yè)部、科學(xué)儀器事業(yè)部、生化儀器事業(yè)部、國(guó)際貿(mào)易事業(yè)部和耗材配件事業(yè)部。主營(yíng)產(chǎn)品:1.公司生化儀器事業(yè)部前身是一個(gè)集開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)為一體的專(zhuān)業(yè)性生化儀器工廠(chǎng),擁有雄厚的技術(shù)力量、*的生產(chǎn)設(shè)備和工藝、完善的管理體系及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。自成立二十多年以來(lái),注重吸收德國(guó)*技術(shù),不斷采用新科技、新材料、新工藝、研制開(kāi)發(fā)出了旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器、低溫槽、真空泵、超級(jí)恒溫槽、冷凍干燥機(jī)、培養(yǎng)箱、振蕩器、攪拌器、離心機(jī)、水浴鍋等各種系列的一百多個(gè)產(chǎn)品。產(chǎn)品高等院校、醫(yī)院、化工、生化、防疫、環(huán)保等科研單位,并大量出口到德國(guó)、巴基斯坦、印度尼西亞、西班牙、英國(guó)、巴西、中國(guó)臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)。 2.光通信事業(yè)部,根據(jù)《低噪聲指數(shù)增益鉗制摻鉺光纖放大器》和《光纖光柵增強(qiáng)的L波段雙通摻鉺光纖放大器》等技術(shù),開(kāi)發(fā)一系列適用于科學(xué)研究、實(shí)際光通信系統(tǒng)使用的高質(zhì)量低成本摻鉺光纖放大器(EDFA),技術(shù)達(dá)到水平。同時(shí),做為光通信公司日本Santec株式會(huì)社在中國(guó)的光通信系列產(chǎn)品的代理商。3.太陽(yáng)能事業(yè)部,主要從事太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能光伏,太陽(yáng)能組件相關(guān)產(chǎn)品的研制、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、施工和服務(wù)。同時(shí),以振興中國(guó)綠色能源為己任,與國(guó)外公司合作,把世界的太陽(yáng)能設(shè)備帶給中國(guó)用戶(hù)。4.公司國(guó)際貿(mào)易部,作為多家世界高科技儀器公司在中國(guó)市場(chǎng)的總代理,與他們保持著*的合作關(guān)系。德國(guó)Nanofocus白光共焦表面形貌顯微系統(tǒng)(光學(xué)輪廓儀)、3D激光輪廓儀;瑞士Lyncee Tec SA公司的數(shù)字全息顯微鏡;美國(guó)CRAIC公司紫外,可見(jiàn),紅外顯微分光光度系統(tǒng);加拿大ZABE(精密線(xiàn)性定位器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)反射鏡座,集成的微定位系統(tǒng),電機(jī)驅(qū)動(dòng)微位移平臺(tái));瑞士NOVASIN的壓差計(jì)和相對(duì)溫濕度計(jì),法國(guó)Sofraser公司在線(xiàn)粘度計(jì);德國(guó)BOECO實(shí)驗(yàn)室儀器(分光光度計(jì)、各種攪拌器、離心機(jī)、PH儀, 電導(dǎo)計(jì), 電極緩沖液、搖床、混合器、天平、實(shí)驗(yàn)玻璃器材等),為國(guó)內(nèi)的客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。
簡(jiǎn)要描述:NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有各種解決方案。
NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)

NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

  • 高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

  • 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式

  • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測(cè)

  • 實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像                            無(wú)樣品準(zhǔn)備

  • 自動(dòng)聚焦

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。

可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線(xiàn)圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析




Specifications(規(guī)格):

Model

Microscope  NS-3500 Solar

備注

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x


觀察/  測(cè)量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


光學(xué)變焦

x1 to x6


總放大倍率

178x to 26700x


觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)  

Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


高度測(cè)量

測(cè)量掃描范圍

400 um

注 1

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 σ

0.010 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測(cè)量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線(xiàn)掃描

~8 kHz


激光共焦測(cè)量光源

波長(zhǎng)

405nm


輸出

~2mW


激光等級(jí)

Class 3b


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


光學(xué)觀察光源

10W LED


光學(xué)觀察照相機(jī)

成像元件

1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

640x480


自動(dòng)調(diào)整

增益, 快門(mén)速度, White balance


數(shù)據(jù)處理單元

PC


電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流消耗

500 VA max.


重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系統(tǒng)

氣浮光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng)

Option

           

注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器(PZT)執(zhí)行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量。        



15700106413
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