- 載樣速度快
- 吹掃速度快
- 氮?dú)庀纳?/span>
- 測試速度快
- 兩種操作模式可選:氮?dú)獗Wo(hù)或抽真空
UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設(shè)計(jì),整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高準(zhǔn)確性;超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮?dú)庀牧可佟?/span>光譜范圍可覆蓋147-2100nm。
UVISEL 2 VUV能夠在充氮?dú)饣虺檎婵漳P拖鹿ぷ?。整個(gè)機(jī)械設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,氮?dú)庀牧康椭?L/min,載樣速度快,2分鐘內(nèi)即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。
UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,它集成了大功率雙光源、高通量光學(xué)系統(tǒng)以及CaF2光彈調(diào)制晶體和兩個(gè)時(shí)髦的單色儀。從147nm到850nm,樣品測量時(shí)間少于8分鐘,具有良好的信噪比。
UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮?dú)庀牧俊⒋祾呒皽y試時(shí)間,改變了VUV橢偏儀的世界。
DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,輸出報(bào)告,以及自動(dòng)操作的全部功能控制,用戶界面直觀、友好,非常適用于科研及工業(yè)客戶使用。
UVISEL 2 VUV測試速度快、運(yùn)行成本低,使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動(dòng)化。
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