XE-7 經(jīng)濟(jì)型原子力顯微鏡
概述
的高性能
在同級(jí)產(chǎn)品中，Park XE7能夠帶來(lái)納米級(jí)分辨率的測(cè)量效果。得益于的原子力顯微鏡架構(gòu)，即獨(dú)立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠?qū)崿F(xiàn)平滑、正交且線性的掃描測(cè)量，從而精確成像和測(cè)量樣品的特征。此外，Park所的True Non-Contact™模式還能為您帶來(lái)的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會(huì)受影響。
高效且易于使用
Park XE7擁有簡(jiǎn)潔的圖形用戶界面和自動(dòng)化工具，即便是初學(xué)者也可以快速地完成對(duì)樣品的掃描。無(wú)論是預(yù)準(zhǔn)直探針、簡(jiǎn)單的樣品和探針更換、輕松的激光準(zhǔn)直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠全力推動(dòng)研究生產(chǎn)力的提高。
兼顧當(dāng)前需求和未來(lái)升級(jí)
在Park XE7的幫助下，現(xiàn)在與未來(lái)皆在您的掌控中。Park XE7帶有業(yè)內(nèi)最多數(shù)量的測(cè)量模式。這些模式不僅能滿足您目前的需求，也考慮到未來(lái)不斷變化的需求。再者，XE7具有市場(chǎng)上最開(kāi)源的設(shè)計(jì)，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。
經(jīng)濟(jì)實(shí)用
Park XE7不僅僅是實(shí)惠的研究級(jí)原子力顯微鏡，也是總體成本的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact™模式讓用戶無(wú)需頻繁更換昂貴的探針，并且它配有業(yè)內(nèi)最多的掃描模式，兼容性，讓您可隨時(shí)升級(jí)系統(tǒng)功能，從而延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命。
技術(shù)信息
通過(guò)消除串?dāng)_進(jìn)行準(zhǔn)確的XY掃描
Park Systems的串?dāng)_消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問(wèn)題。我們使用了二維柔性平臺(tái)專門(mén)掃描樣品的XY軸位置，并通過(guò)壓電疊堆傳動(dòng)裝置專門(mén)掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺(tái)采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運(yùn)動(dòng)軌跡。柔性平臺(tái)可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率達(dá)100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠(yuǎn)低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動(dòng)裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz)。
圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級(jí)光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)可達(dá)80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過(guò)1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是Z軸伺服回應(yīng)。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無(wú)接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 µm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn)，探針可以精確地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng)，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。
通過(guò)通過(guò)真正的非接觸™模式獲得最真實(shí)的表面形貌
在True Non-Contact™模式中，探針與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品。
針尖壽命更長(zhǎng)，樣品損壞更少
原子力顯微鏡探針的十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會(huì)快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對(duì)于材質(zhì)較軟的樣品，探針會(huì)破壞樣品，導(dǎo)致其高度測(cè)量不準(zhǔn)確。相應(yīng)地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的精確數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護(hù)探針，從而延長(zhǎng)其壽命，并減少對(duì)于樣品的破壞。下圖中以1:1的長(zhǎng)寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒(méi)任何磨損。
Park XE7特性
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二維柔性平板掃描儀，掃描范圍為10 µm x 10 µm
XY軸掃描器含有對(duì)稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運(yùn)動(dòng)最少的情況下，實(shí)現(xiàn)高正交運(yùn)動(dòng)以及納米級(jí)樣品掃描下的高響應(yīng)度。緊湊且堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)是為了低噪聲高速伺服回應(yīng)而設(shè)計(jì)的。 -
柔性High Force Z掃描儀
憑借著高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)，其可以允許掃描器以更高的速度縱向移動(dòng)，這是傳統(tǒng)原子力顯微鏡中掃描器所無(wú)法做到的。Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的12 µm增至40µm（選購(gòu)遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）。 -
滑動(dòng)鏈接SLD
燕尾式軌道設(shè)計(jì)，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。借助超輻射發(fā)光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可精確成像高度反光表面和精密測(cè)量pico-Newton力對(duì)距光譜。此外，超輻射發(fā)光二極管的波長(zhǎng)也解決了干擾問(wèn)題，讓用戶可隨意在可見(jiàn)光譜實(shí)驗(yàn)中使用原子力顯微鏡。
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無(wú)障礙樣品架
的鏡頭設(shè)計(jì)可掃描尺寸為100 mm的樣品，且可輕易從側(cè)面更換樣品和探針。 -
手動(dòng)XY樣品臺(tái)
在手動(dòng)XY軸樣品臺(tái)的精確控制下，樣品的測(cè)量定位變得簡(jiǎn)單。XY軸樣品臺(tái)的行程范圍是13 mm x 13 mm。 手動(dòng)光學(xué)平臺(tái)
同軸鏡頭可手動(dòng)調(diào)焦。帶有控制器板中的DSP板的Park XE控制電子設(shè)備
原子力顯微鏡的納米級(jí)信號(hào)是由高性能的Park XE電子控制器所控制和處理的。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，Park XE電子控制器成功實(shí)現(xiàn)了True Non-Contact™模式，這是納米級(jí)成像和精確電壓電流測(cè)量的選擇。- 高性能處理單元，頻率達(dá)600 MHz，處理速度高達(dá)4800 MIPS
- 低噪聲設(shè)計(jì)，帶來(lái)精確的電流電壓測(cè)量
- 系統(tǒng)，融合各種掃描探針顯微鏡技術(shù)
- 外部信號(hào)獲取模塊，獲取原子力顯微鏡輸入/輸出信號(hào)
- 16幅數(shù)字圖像
- 分辨率：4096 × 4096
- 16位ADC/DAC，頻率為500 kHz
- 隔離通過(guò)TCP/IP連接的電腦電噪聲
掃描模式
支持行業(yè)中泛的SPM模式和選項(xiàng)
現(xiàn)如今，研究院需要描述不同測(cè)量條件和樣品條件下的各類物理性質(zhì)。Park Systems帶來(lái)業(yè)內(nèi)最多的掃描探針顯微鏡模式、最多的原子力顯微鏡選擇和的兼容性和升級(jí)性，讓樣品的表征掃描變得簡(jiǎn)單。
