產(chǎn)品特點(diǎn):
·較低的電噪聲
·一個(gè)控制器和ROE將同時(shí)帶動(dòng)兩個(gè)步進(jìn)式電機(jī)驅(qū)動(dòng)微電極運(yùn)動(dòng)
·用戶界面:?jiǎn)为?dú)按鈕可對(duì)設(shè)備進(jìn)行所有主要功能的操作
·通過(guò)ROE旋鈕及DIP開(kāi)關(guān),自檢測(cè)及()功能可幫助實(shí)現(xiàn)微電極在三個(gè)軸向及不同傾斜角度的移動(dòng)
·第四個(gè)球形軸的設(shè)置不需要電腦控制
·簡(jiǎn)單的選擇切換模式(自動(dòng):連續(xù)移動(dòng)/單位位移、手動(dòng))
·可顯示X,Y,Z軸上的坐標(biāo)、模式及微電極的運(yùn)行狀態(tài)
·可設(shè)置微電極回到原點(diǎn)或相對(duì)原點(diǎn)位置以便于更換或進(jìn)行其他操作
·極小的傳動(dòng)誤差可使得微電極更流暢快速的移動(dòng)
·RS-232串聯(lián)接口
技術(shù)參數(shù):
行 程:3軸電動(dòng)控制行程1英寸(25mm)
單位位移:最小單位位移62.5nm/step
速率:2.9mm/s
傳動(dòng)誤差:小于0.5μm/20h
傳動(dòng)裝置:渦輪傳動(dòng)
尺 寸
控制器:15.75×10.75×3.5(in)40×27.3×9(cm)
ROE:10×6×4(in)25×15×23(cm)
重 量
主 機(jī):6.5lbs/3kg
ROE:3.5lbs/1.6kg
電源電壓:115/230V 50/60Hz