場發(fā)射掃描電鏡熱場式 SU5000特色
高性能電子光學系統(tǒng)
- 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)*
- 高靈敏度: 高效PD-BSD, *的低加速電壓性能,低至100 V成像
- 大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析
- 性能優(yōu)異
- 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測器(UVD)*
- 開倉室快速簡單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
- 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等
*:
選配附件
場發(fā)射掃描電鏡熱場式 SU5000規(guī)格
項目 | 內容 | |
---|---|---|
分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2 | |
放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素) | |
電子光學系統(tǒng) | 電子槍 | ZrO /W 肖特基式電子槍 |
加速電壓 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進) | |
著陸電壓 | 減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1 | |
大束流 | > 200 nA | |
探測器 | 低位二次電子探測器 | |
低真空模式*2 | 真空范圍: 10 - 300 Pa | |
馬達臺 | 馬達臺控制 | 5 - 軸自動 (優(yōu)中心) |
可動范圍 | X:0~100mm Y:0~50mm Z:3~65mm T:-20~90° R:360° | |
大樣品尺寸 | 大直徑: 200 mm 大高度: 80 mm | |
選配探測器 |
|
*1:
減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測器)
*2:
低真空功能(包含5分割半導體探測器)
*3:
空壓機(本地采購)
應用案例
樣品: 氧化鋅粉末
著陸電壓: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低電壓下頂位二次電子探測器成像
樣品: PTFE
加速電壓: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探測器可在低加速電壓(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下獲得高質量圖像
似空科學儀器(上海)有限公司是一家儀器設備的經銷商。我們致力于為中國制造業(yè)和研發(fā)機構提供高精度、符合人體工學設計的儀器設備。我們也夢想有朝一日,能夠充分掌握市場需求,深刻理解儀器設備的技術原理,聚集一批有激情、有理想、有技術的人,為中國的制造業(yè)升級以及中國科研走向世界,提供自有知識產權的*儀器設備!
儀器設備發(fā)展的是探測手段和傳感器不對被測目標產生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場為核心,不以自我的意愿抗拒市場的趨勢,代替客戶的喜好,于是我們取名“似空”,希望以忘我的精神服務客戶。