加拿大Zaber于1997年成立于溫哥華。Zaber高、低真空設備使用特殊設計的真空步進電機,高真空電機的額定真空度為10-6Torr,低真空電機的額定真空度為10-3Torr。為了在敏感應用中使用,zaber真空設備中選擇低釋氣和非冷凝材料。全部的高真空設備上均采用排氣式不銹鋼螺絲,所有的低真空設備均使用非排氣式不銹鋼螺絲。
Zaber真空線性平臺具有內(nèi)置控制器和編碼器(所有控制和驅動電子元件集成在一個緊湊型封裝中的設備),避免了繁雜的電纜交錯。而且zaber的所有產(chǎn)品允許它們使用菊花鏈式的方式銜接,在真空環(huán)境中,菊花鏈銜接的方式也省去了額外的饋通,幾臺Zaber設備可在只有一條饋通線的條件下運行。因此,Zaber真空線性平臺具有價格平滑,設計緊湊,集成且易于使用的特點。
Zaber位移臺的特點是把所有控制包括控制器和驅動器等電子元件都集成在同一個封裝中,非常方便使用。此外,變速箱和編碼器進行了小型化封裝組合,這種輕便人性化的設計是Zaber電動位移臺在位移臺(平移臺)領域,界的基礎。
Zaber真空線性平臺,Vacuum Devices
1) High Vacuum Device built-in Controllers,內(nèi)置控制器的高真空電動平移臺
Zaber X-LRQ-SV2系列,高真空、高負載線性平移臺
X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品的特點:
? 與10-6 Torr的真空設備兼容
? 高達205毫米/秒的速度和高達100牛的推力
? 內(nèi)置控制器,可連接其他Zaber產(chǎn)品
? 可選75,150,300,450,600mm的行程
? 100公斤的負載能力
? 通過串行端口(使用X-PIB適配器)控制連接的所有單元只需要4根線
X-LRQ-SV2是Zaber的一款高真空電控平移臺,其具有高剛度、結構緊湊、高負載和長使用壽命等特點。X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品都是獨立的單元,只需要接通標準的24 V或48 V電源就可工作。在沒有電腦的情況下,Zaber專門設計的索引旋鈕也可以提供方便的手動控制,以實現(xiàn)多種操作
X-LRQ-DEC系列平移臺可以連接到任何計算機的RS-232端口或USB端口,并可以與任何其他Zaber產(chǎn)品連接,連接后共享一個電源的電力。還可以方便的鎖定,連接一般采用4針,M8連接器。
X-LRQ-SV2系列平移臺只有36毫米高,可以應用于尺寸有限的場合。 X-LRQ-DEC的創(chuàng)新設計允許速度高達205毫米/秒,載重高達100千克。像所有Zaber的其它產(chǎn)品一樣,X-LRQ-DEC系列的設計是“即插即用”,非常容易安裝和操作。這產(chǎn)品段可以拼接成XY和XYZ系統(tǒng)。
加拿大Zaber公司X-LRQ-SV2系列平移臺的命名規(guī)則:
X-LRQ表示產(chǎn)品的系列,075表示行程,A表示Lead Screw Options,對應運動速度的快慢,L表示Drive Configuration,SV2表示高真空或低真空。
X-LRQ-SV2系列具體型號:
X-LRQ075AL-SV2: 高真空, 線性平移臺, 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LRQ075BL-SV2
X-LRQ150AL-SV2、X-LRQ150BL-SV2 X-LRQ300AL-SV2、X-LRQ300BL-SV2
X-LRQ450AL-SV2、X-LRQ450BL-SV2 X-LRQ600AL-SV2、X-LRQ600BL-SV2
Zaber X-LSM-SV2系列,高真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
X-LSM025A-SV2:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LSM025B-SV2
X-LSM050A-SV2、X-LSM050B-SV2 X-LSM100A-SV2、X-LSM100B-SV2
X-LSM150A-SV2、X-LSM150B-SV2 X-LSM200A-SV2、X-LSM200B-SV2
Zaber X-VSR-V2系列,高真空垂直平移臺
X-VSR20A-SV2:高真空, 電動升降臺, 20mm行程, 內(nèi)置控制器
X-VSR40A-SV2:高真空, 電動升降臺, 40mm行程, 內(nèi)置控制器
Zaber X-RSW-SV2系列,高真空選轉臺
X-RSW60A-SV2:高真空, 電動旋轉臺, 360°旋轉, 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
Zaber X-RSM-SV2系列,高真空、低負載旋轉臺
型號:
X-RSM40B-SV2:高真空, 電動旋轉臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, medium resolution
Zaber X-GSM-SV2系列,高真空角度調(diào)整臺
X-GSM40-SV2:高真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation
X-GSM60-SV2:高真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation
Zaber T-NA-SV2系列,高真空線性制動器
T-NA08A25-SV2:高真空線性致動器, 25mm行程, RS-232
T-NA08A50-SV2:高真空線性致動器, 50mm行程, RS-232
2) 高真空 Device built-in Stand-alone Controllers,帶獨立控制器的高真空線性平移臺
Zaber LRQ-SV2系列,高真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,600mm)
型號:
LRQ075AL-V2T4:高真空, 線性平移臺, 75mm行程, 高分辨率, 低速
LRQ075BL-V2T4
LRQ150AL-V2T4、LRQ150BL-V2T4 LRQ300AL-V2T4、LRQ300BL-V2T4
LRQ450AL-V2T4、LRQ450BL-V2T4 LRQ600AL-V2T4、LRQ600BL-V2T4
Zaber LSM-SV2系列,高真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
LSM025A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率, 低速
LSM025B-V2T4
LSM050A-V2T4、LSM050B-V2T4 LSM100A-V2T4、LSM100B-V2T4
LSM150A-V2T4、LSM150B-V2T4 LSM200A-V2T4、LSM200B-V2T4
Zaber LSA-V2系列,高真空,微型線性位移臺
型號:
LSA10A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 10mm行程, 高分辨率
LSA25A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率
Zaber VSR-V2系列,高真空垂直位移臺
型號:
VSR20A-V2T4:高真空, 電動升降臺, 20mm行程
VSR40A-V2T4:高真空, 電動升降臺, 40mm行程
Zaber RSW-SV2系列,高真空旋轉臺
型號:
RSW60A-V2T4:高真空, 電動旋轉臺, 360°旋轉, 60 mm diameter, 高分辨率, 低速
RSM40B-V2T4:高真空, 電動旋轉臺, 40 mm stage top, medium resolution
Zaber RSM-SV2系列,高真空,低負載旋轉臺
型號:
RSM40B-V2T4:高真空, 電動旋轉臺, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber GSM-SV2系列,高真空線性致動器
型號:
GSM40-V2T4:高真空, 電動角度臺, 40 mm centre of rotation
GSM60-V2T4:高真空, 電動角度臺, 60 mm centre of rotation
3) 低真空 Device built-in Controllers,內(nèi)置控制器的低真空線性平臺
Zaber X-LRQ-SV1系列,低真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,
600mm)
型號:
X-LRQ075AL-SV1:低真空, 線性平移臺, 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LRQ075BL-SV1
X-LRQ150AL-SV1、X-LRQ150BL-SV1 X-LRQ300AL-SV1、X-LRQ300BL-SV1
X-LRQ450AL-SV1、X-LRQ450BL-SV1 X-LRQ600AL-SV1、X-LRQ600BL-SV1
Zaber X-LSM-SV1系列,低真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
X-LSM025A-SV1:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LSM025B-SV1
X-LSM050A-SV1、X-LSM050B-SV1 X-LSM100A-SV1、X-LSM100B-SV1
X-LSM150A-SV1、X-LSM150B-SV1 X-LSM200A-SV1、X-LSM200B-SV1
Zaber X-VSR-V1系列,低真空垂直平移臺
型號:
X-VSR20A-SV1:低真空, 電動升降臺, 20mm行程, 內(nèi)置控制器
X-VSR40A-SV1:低真空, 電動升降臺, 40mm行程, 內(nèi)置控制器
Zaber X-RSW-SV1系列,低真空旋轉臺
型號:
X-RSW60A-SV1:低真空, 電動旋轉臺, 360°旋轉, 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
Zaber X-RSM-SV1系列,低真空、低負載旋轉臺
型號:
X-RSM40B-SV1:低真空, 電動旋轉臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber X-GSM-SV1系列,低真空角度調(diào)整臺
型號:
X-GSM40-SV1:低真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation
X-GSM60-SV1:低真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation
Zaber T-NA-SV1系列,低真空線性致動器 Zaber T-MM-V系列,低真空反射鏡調(diào)整架
型號:
T-NA08A25-SV1:低真空線性致動器, 25mm行程, RS-232
T-NA08A50-SV1:低真空線性致動器, 50mm行程, RS-232
4) 低真空 Device built-in Stand-alone Controllers,帶獨立控制器的低真空線性平移臺
型號:
Zaber LRQ-V1系列,低真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,600mm)
型號:
LRQ075AL-V1T4:低真空, 線性平移臺, 75mm行程, 高分辨率, 低速
LRQ075BL-V1T4
LRQ150AL-V1T4、LRQ150BL-V1T4 LRQ300AL-V1T4、LRQ300BL-V1T4
LRQ450AL-V1T4、LRQ450BL-V1T4 LRQ600AL-V1T4、LRQ600BL-V1T4
Zaber LSM-V1系列,低真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
LSM025A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率, 低速
LSM025B-V1T4
LSM050A-V1T4、LSM050B-V1T4 LSM100A-V1T4、LSM100B-V1T4
LSM150A-V1T4、LSM150B-V1T4 LSM200A-V1T4、LSM200B-V1T4
Zaber LSA-V1系列,低真空,微型線性位移臺
型號:
LSA10A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 10mm行程, 高分辨率
LSA25A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率
Zaber VSR-V1系列,低真空垂直位移臺
型號:
VSR20A-V1T4:低真空, 電動升降臺, 20mm行程
VSR40A-V1T4:低真空, 電動升降臺, 40mm行程
Zaber RSW-V1系列,低真空旋轉臺
型號:
RSW60A-V1T4:低真空, 電動旋轉臺, 360°旋轉, 60 mm diameter, 高分辨率, 低速
Zaber RSM-V1系列,低真空,低負載旋轉臺
型號:
RSM40B-V1T4 低真空, 電動旋轉臺, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber GSM-V1系列,低真空線性角度調(diào)整臺
型號:
GSM40-V1T4:低真空, 電動角度臺, 40 mm centre of rotation
GSM60-V1T4:低真空, 電動角度臺, 60 mm centre of rotation
5) Non-Motorized
Zaber TSB-V系列,低真空線性平臺
型號:
TSB28E-V: Translation stage, 28mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible
TSB28M-V:Translation stage, 28mm行程, M6 thread, vacuum compatible
TSB60E-V: Translation stage, 60mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible
TSB60M-V:Translation stage, 60mm行程, M6 thread, vacuum compatible