氣態(tài)分子污染物監(jiān)測
DKG-ONE CF4
技術(shù)應(yīng)用
GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。
可靠的監(jiān)測
高靈敏度的DKG- ONE CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。DKG- ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監(jiān)測儀等，整合在一個機柜里。
測量參數(shù)
l響應(yīng)時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等
l 監(jiān)測下限：小于0.1ppb
l動態(tài)量程：大于5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)
l重復(fù)性：運行條件下，校準濃度重復(fù)性小于1%
l準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度
l溫度穩(wěn)定性：在運行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導(dǎo)致漂移
l 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導(dǎo)致漂移
優(yōu)勢
l 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制
l 快速的響應(yīng)時間，以捕捉濃度突然上升
l 獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵
l 無耗材或者化學(xué)試劑
l 短光程，單點校準也可達到的動態(tài)量程
l 直接吸收測量，無漂移
l 校準間隔長（可達數(shù)年）
l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾
