| SLC-24系列位移臺都是24mm寬，10.5mm高，剛性比SLC-17系列還要好，高的直線度允許實現(xiàn)的位移精度。使用該系列的位移器，可實現(xiàn)大行程范圍的同時，實現(xiàn)納米級的位移精度。 |
| 參數(shù) | SLC-2430 | SLC-2445 | SLC-2460 | SLC-2475 | SLC-2490 |
| 行程 | 16mm | 29mm | 35mm | 49mm | 63mm |
| 開環(huán) 分辨率 | < 1 nm | ||||
| 速度 | > 20 mm/s | ||||
| 垂直 負載 | 20N | 30N | |||
| 體積 | 30 x 24 x 10.5 mm3 | 45 x 24 x 10.5 mm3 | 60 x 24 x 10.5mm3 | 75 x 24 x 10.5mm3 | 90 x 24 x 10.5mm3 |
| 重量 | 36g | 54g | 72g | 90g | 108g |
| 可選閉環(huán)傳感器S | |||||
| 傳感器 分辨率 | 1nm | ||||
| 重復 精度 | ±30nm | ± 45nm | ± 60nm | ± 75nm | ± 90nm |
| 可選閉環(huán)傳感器L | |||||
| 傳感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | ||||
| 重復 精度 | ±60nm(MCS2) ± 1 µm(HCU) | ±90nm(MCS2) ± 1 µm(HCU) | ±120nm(MCS2) ± 1µm(HCU) | ±150nm(MCS2) ± 1µm(HCU) | ±180nm(MCS2) ± 1µm(HCU) |
| 參數(shù) | SLC-24105 | SLC-24120 | SLC-24150 | SLC-24180 |
| 行程 | 69mm | 83mm | 103mm | 123mm |
| 閉環(huán) 分辨率 | < 1 nm | |||
| 速度 | > 20 mm/s | |||
| 垂直 負載 | 30N | |||
| 體積 | 105x 24 x 10.5 mm3 | 120 x 24 x 10.5 mm3 | 150 x 24 x 10.5 mm3 | 180 x 24 x 10.5mm3 |
| 重量 | 126g | 144g | 180g | 216g |
| 可選閉環(huán)傳感器S | ||||
| 傳感器 分辨率 | 1nm | |||
| 重復 精度 | ±105nm | ± 120nm | ± 150nm | ± 180nm |
| 可選閉環(huán)傳感器L | ||||
| 傳感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | |||
| 重復 精度 | ±210nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±240nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±300nm(MCS2) ± 1 µm(H CU) | ±360nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) |
