北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作， 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
|---|
應(yīng)用方向：科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢：多功能，電子槍+熱阻蒸發(fā)，膜厚監(jiān)控
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）
★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱：常規(guī)加熱
★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝：6穴，17cc
★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實驗系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學(xué)特性功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動+半自動控制
類似產(chǎn)品： 大樣片蒸發(fā)鍍膜（MEB-800）
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