等離子清洗設(shè)備清洗原理：
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
等離子清洗設(shè)備就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體，通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l采用美國(guó)霍尼韋爾真空壓力傳感器，性能穩(wěn)定可靠；
l采用美國(guó)氣體浮子流量計(jì)，流量顯示準(zhǔn)確；
l*雙路氣體控制方式，氣體控制更加穩(wěn)定；
l艙體、管路、閥體全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，防腐不生銹；
l手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式，可根據(jù)客戶需求任意切換；
l觸摸按鍵+4.3寸大屏幕彩色液晶顯示屏設(shè)計(jì)，顯示清晰，操作簡(jiǎn)單；
l智能程序化控制，可編程自動(dòng)完成整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程；
l無(wú)需任何耗材，使用成本低；
l無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù)，在日常使用過(guò)程中保持儀器清潔即可；
整機(jī)保修一年。
技術(shù)參數(shù)：
序號(hào) | 型號(hào) | CPC-A | CPC-B | CPC-C |
1 | 艙體尺寸 | 275X110（直徑）mm | 295X150（直徑）mm | 295X150（直徑）mm |
2 | 艙體容積 | 2.6L | 5.2L | 5.2L |
3 | 射頻頻率 | 40KHz | 40KHz | 13.56MHz |
4 | 射頻功率 | 10-200W無(wú)極可調(diào) | 10-200W無(wú)極可調(diào) | 10-150W無(wú)極可調(diào) |
5 | 電 源 | 220V 50/60HZ | 220V 50/60HZ | 220V 50/60HZ |
6 | 電 流 | 1.2A | 1.2A | 1.2A |
7 | 時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | 1-99分59秒 | 1-99分59秒 |
8 | 氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | 1分鐘 | 1分鐘 |
9 | 真空度 | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) |
10 | 等離子激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 |
11 | 外形尺寸L*W*H | 480*450*265mm | 520*450*290mm | 520*450*290mm |
12 | 整機(jī)重量 | 15Kg | 20Kg | 25Kg |
配置清單：
- 主機(jī) 1臺(tái)
- 真空泵 1臺(tái)
- 真空軟管 1根
- 艙內(nèi)托盤 1塊
- 電源線 2根
- 備件保險(xiǎn)管 4個(gè)
- 說(shuō)明書 1本
- 合格證 1份
- 保修單 1份
