智能型多功能橢偏儀儀器介紹
多功能性設(shè)計,配置靈活,具備多角度測量能力,可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進(jìn)行簡單,快速,精確表征和分析的工具。
智能型多功能橢偏儀技術(shù)參數(shù)
· 光譜范圍:450-1000nm
· 多種微光斑自動選擇
· 光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面
· CCD探測器
· 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
主要特點
· 一鍵式操作,直接報告輸出
· 液晶調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
· CCD 探測系統(tǒng),快速全譜輸出
· 多個微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
· 多角度測量
· 可實現(xiàn)在線測量配置