APK6100E半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng),是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品,可配制五種標(biāo)氣的混合氣(可定制),稀釋比可達(dá)到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學(xué)研究。可根據(jù)用戶要求定制。
特點(diǎn):
苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;
帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度
高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFC),配制氣體濃度精準(zhǔn)
可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊
應(yīng)用:
傳感器生產(chǎn)商
半導(dǎo)體生產(chǎn)商
科研院所
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■可配置液體或氣體樣品;
■可實(shí)現(xiàn)標(biāo)樣加濕功能;
■兩級高精度MFC控制;
■稀釋比高;
■全自動(dòng)運(yùn)行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt;
■可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品。