產(chǎn)品介紹
Inprentus可為EUV應(yīng)用提供定制的主光柵，在這些應(yīng)用中，優(yōu)化光學(xué)效率、儀器緊湊性和性能是下一代處理實驗室的任務(wù)。Inprentus 能夠利用高可變線間距 (VLS) 制造具有強聚焦能力的衍射光柵。這使得光斑尺寸更小，工作波長的光線更明亮。衍射光柵可在設(shè)計波長內(nèi)外使用，具有多種尺寸和規(guī)格，可實現(xiàn)緊湊型儀器設(shè)計和升級。Inprentus 還與客戶密切合作，在光柵母版中提供定制的熾熱角，以便在現(xiàn)有儀器或下一代儀器升級中實現(xiàn)直接替換。
性能特點
現(xiàn)代化的衍射光柵機械固定方法
效率高和聚焦效果好
利用高可變線間距（VLS）制造具有強聚焦能力的衍射光柵
優(yōu)化減小光斑尺寸
可在設(shè)計波長內(nèi)外使用
實現(xiàn)緊湊型儀器設(shè)計和升級
提供定制的熾熱角
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國
熾熱角：0.1° 到 80° 不等
VLS - 可變線間距 (VLS)
埃歇爾光柵類型：埃歇爾光柵
判讀：在凹面、環(huán)面、橢圓面等曲面基底上進行
分辨率：超過 100,000（取決于其他規(guī)格）
基底和涂層：高損傷閾值
尺寸： 500 x 200 毫米
線密度：50 到 3000 升/毫米
表面：硅或熔融石英基底的鍍金（Au）
產(chǎn)品應(yīng)用
單色儀、反射儀、散射儀等，光發(fā)射光譜、X 射線和紫外線衍射光學(xué)以及各種激光光學(xué)應(yīng)用。
產(chǎn)品參數(shù)
