產(chǎn)品介紹
CNI v3.0是桌面壓印工具,易于復制微米級結(jié)構(gòu),可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓。CNI是一種用于壓印和熱壓花的桌面尺寸工具。它允許微結(jié)構(gòu)從母版復制到基底。CNI工具可以執(zhí)行熱復制和紫外線復制。CNI工具是壓印的良好起點,但它也支持成熟和的開發(fā)工作。CNI工具操作簡單,功能強大,便于非標準流程和新實驗。
性能特點
- 臺式壓印工具
- UV NIL@365 nm(或405 nm–自定義選項)
- 壓印壓力從0.3bar到11bar
- 真空壓?。?mbar)
- 堅固且易于使用
- 手動裝載和卸載印章和基板
- 自動過程控制
- 易于操作的軟件界面
技術參數(shù)
- 產(chǎn)地:丹麥
- 壓力:壓印壓力為0.3-11bar過壓
- 溫度:
- 200ºC,可控制+/-1ºC
- 250ºC,帶高溫選項
- 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光,在120 mm的腔室中光功率為12 W,在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W,約為165 mW/cm2。
- 真空:壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
- 是否進口:是
- 應用:廣泛
- 封裝:廠家制定
- 性能:良好
- 可靠性:高
產(chǎn)品參數(shù)