產(chǎn)生力達(dá)600 N
保持力至800 N
行程20 mm
集成式直接測量線性編碼器,分辨率為5 nm
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以高精度直接在平臺(tái)上測量位置。非線性,機(jī)械游隙或彈性變形對(duì)測量沒有影響。
PiezoWalk行進(jìn)驅(qū)動(dòng)器具有納米級(jí)精度和高進(jìn)給力
多個(gè)壓電執(zhí)行器在PiezoWalk行進(jìn)驅(qū)動(dòng)器中執(zhí)行行進(jìn)運(yùn)動(dòng),從而導(dǎo)致行進(jìn)向前進(jìn)給。致動(dòng)器的控制允許更小的步進(jìn)和正向進(jìn)給運(yùn)動(dòng),分辨率遠(yuǎn)低于1納米。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
PI的壓電電機(jī)可以設(shè)計(jì)用于真空環(huán)境,適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。為此可以使用特殊版本的驅(qū)動(dòng)器。PiezoWalk驅(qū)動(dòng)器還可用于無塵室或紫外線強(qiáng)烈的環(huán)境中。
行程范圍:20 mm
模擬模式下的行程范圍:±3 µm
集成傳感器:無
分辨率,開環(huán):0.03 nm
分辨率,閉環(huán):-/ 5 nm(N-216.1A1)
速度(10%占空比,全步模式):max.1.0 mm/s
速度(100%占空比,全步模式):max.0.6 mm/s
驅(qū)動(dòng)力(有效):max.300 N
保持力(被動(dòng)):min.400 N
馬達(dá)類型:NEXLINE
工作電壓:-250 V至+250 V
工作溫度范圍:0至55°C
材質(zhì):鋁,不銹鋼
電纜長度:2.0 m
連接器:D-sub 25(m)
重量:1150 g