采用陶瓷制作X軸驅(qū)動裝置的導(dǎo)軌 |
X.Y軸上內(nèi)建清晰玻璃刻度。(X軸清晰度:0.05μm,Y軸1μm) |
裝配有高**度的測頭 |
裝配有多種功能,如:線性補(bǔ)償功能,圓度補(bǔ)償功能等 |
測頭和滑道都可輕松替換 |
在SV-2000S2,SV-3000S4/H4/W4/S8/H8/W8這幾個型號中,還提供具有“簡便操作”功能的控制臺。 |
型號 | SV-3000S4 | ||
類型 | mm | inch/mm | |
貨號 每種貨號都有標(biāo)明AC電源線的型號 測量力: 0.75mN | 100V AC | 178-663 | ---- |
110V AC | 178-663C | ---- | |
120V AC | 178-663A | 178-673A | |
220V AC | 178-663D | 178-673D | |
240V AC | 178-663E | 178-673E | |
貨號 每種貨號都有標(biāo)明AC電源線的型號 測量力: 4mN | 100V AC | 178-643 | ---- |
110V AC | 178-643C | ---- | |
120V AC | 178-643A | 178-653A | |
220V AC | 178-643D | 178-653D | |
240V AC | 178-643E | 178-653E | |
平移范圍 | 100mm(4") | ||
平移線性度 | 0.05μm+1.5L/1000mm[(2+1.5L)μinch] L=測量長度 | ||
垂直位移 | 300mm(11.8")電動 | ||
基本尺寸(W×D) | 610×450mm(24"×17.7") | ||
測頭速度 | 測量 | 0.2mm/s(.0008"),0.5mm/s(.008"/s),0.1mm/s(.004"/s), 0.2 mm/s(.008"/s),0.5mm/s(.02"/s) 1mm/s(.04"/s),2mm/s(.08"/s) | |
定位 | 可用控制桿0.1mm/s(.004"/s)至5mm/s(.2"/s),可用手工給進(jìn) | ||
測量范圍 | 800μm[精度:0.01μm](32000μinch[精度:.4μinch]) 80μm[精度:0.001μm](3200μinch[精度:.04μinch]) 8μm[精度:0.0001μm](320μinch[精度:.004μinch]) | ||
標(biāo)準(zhǔn)探測器 (178-396-2) (178-397-2) | 探測方法 | 不同的傳輸方法 | |
測頭 | 測量強(qiáng)度0.75mN:鉆石,60°圓錐,測頭半徑:2μm(79μinch) 測量強(qiáng)度4mN:鉆石,90°圓錐,測頭半徑:5μm(200μinch) | ||
軌道 | 硬度,曲率半徑:40mm(1.6") | ||
數(shù)據(jù)分析軟件 | SURFPAK-SV(提供CD-ROM) | ||
操作溫度 | 15℃-25℃ | ||
電源 | 100V AC - 240V AC,50/60Hz | ||
主裝置尺寸 | 710×450×890mm(27.95"×17.72"×35.04") | ||
主裝置重量 | 140kg(308 lds.) | ||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 標(biāo)準(zhǔn)探測器(178-396-2(測量力:0.75mN),178-397-2(測量力:4mN)) 標(biāo)準(zhǔn)接頭(12AAC753),粗糙度標(biāo)準(zhǔn)板(178-601(mm)和178-602(inch/mm)) 機(jī)器蓋(355130),支撐螺栓,潤滑劑,扳手,螺絲起子,AC適配器 電源線,用戶手冊 |