產(chǎn)品介紹:
薄膜厚度測量和反射計系統(tǒng)SR100通過測量反射光譜,結合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質(zhì)。TFProbe系列光譜反射工具具有許多特點,如長工作距離、工作距離可調(diào)、大平臺尺寸、可選擇的光源和可調(diào)光源強度等。簡單的附加功能也可選,如傳輸、曲面測量適配器、多通道、大或小光束設置等等
產(chǎn)品參數(shù):
波長范圍 | 25-~1100nm |
現(xiàn)貨尺寸 | 500μm~5mm |
樣品尺寸 | 直徑200*200mm或200mm |
底材尺寸 | 厚度可達50mm |
可測量厚度范圍 | 50μm |
測量時間 | 2ms最小 |
精度 | 優(yōu)于0.25% |
重復性 | <1A |
主要應用:
太陽能電池中的薄膜
光刻膠,聚酰亞胺,氧化物,氮化物
光學涂層,TiO2,SiO2,Ta2O5 ...
半導體化合物,電池間隙
MEMS / MOEMS中的功能性薄膜
薄膜晶體管(TFT)堆疊
導電氧化物:氧化銦錫
在上涂層