長行程壓電納米位移臺ML-92A,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位精準,能在真空下使用等優(yōu)點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。
該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運動無需潤滑,真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。
• 應用案例
△ 電子顯微鏡原位納米探針臺
△ 半導體芯片檢測
△ 光刻機工件臺
△ 微生物操縱手
△ 光纖焊接
△ 超精密組裝
△ 精密檢測與測量
△ 高精度激光對焦