真空技術在冶金、化工、輕工、食品、醫(yī)藥等領域得到了十分廣泛的應用,在太陽能光伏產業(yè)不斷升溫的大環(huán)境下,太陽能光伏產業(yè)屬于國家鼓勵發(fā)展的新能源與可再生能源產業(yè),符合國家產業(yè)導向,半導體設備廠商也迎來了新的發(fā)展機遇。在大規(guī)模集成電路和太陽能光伏的發(fā)展中,單晶爐是硅材料制備的關鍵設備,在產業(yè)鏈中具有舉足輕重的地位。單晶爐真空閥是單晶硅制造生長過程的工藝設備中的控制裝置??票菊婵臻y門專業(yè)生產的單晶爐真空球閥的法蘭標準有兩種:活套真空法蘭:GB/T6070和真空快卸法蘭:GB4982。
曾經有專家預言,太陽能將和通信和計算機一起成為21世紀發(fā)展的產業(yè)。在這種態(tài)勢下,作為太陽能產業(yè)鏈上游的硅材料和設備受到日益關注。而晶體材料的質量在很大程度上取決于制備時的工藝技術和裝備,沒有的工藝技術和滿足晶體生長要求、性能穩(wěn)定可靠的裝備,肯定不能提供性能一致穩(wěn)定、品質優(yōu)良的晶體材料。
大多數人工單晶硅晶體的生長需在充有惰性氣體的密閉爐室內進行。近年來國內晶體材料行業(yè)的生產實踐表明,在對晶體生長設備(以直拉單晶爐為主)使用壽命和可靠性的影響上,爐室的真空密閉性已經超過機械運動平穩(wěn)性和其它技術指標,成為衡量和評判設備性能好壞的要素,而單晶爐真空閥是保證真空管路密封的關鍵閥門設備。永嘉縣科本真空閥門廠專業(yè)生產單晶爐真空球閥、單晶爐高真空閥門、單晶爐真空閥等。
單晶爐真空閥的特點和使用范圍
單晶爐真空閥的結構通常為直通式單晶爐真空球閥,閥門驅動方式有適用于手動、氣動和電動??壳蛎婷芊猓蚨饶苡迷谡婵諣顟B(tài)下,也能在低壓狀態(tài)下使用。并可以任意位置安裝。
單晶爐真空閥適用的工作介質為帶酸、堿性的氣體或液體。
閥體材料:304不銹鋼 連接方式:法蘭連接