一、矩形超高真空插板閥概述
此系列閥門為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，在結(jié)構(gòu)上設(shè)計(jì)合理，外形上美觀，并具有動(dòng)作平穩(wěn)、沖擊振動(dòng)小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是半導(dǎo)體行業(yè)中真空設(shè)備自動(dòng)化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力，通過傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過擺桿與閥板連接并帶動(dòng)閥板開啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、矩形超高真空插板閥特點(diǎn)
采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構(gòu)，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動(dòng)小，噪聲低；
四滾輪支撐運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，動(dòng)作平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)噪聲小；
動(dòng)密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率?。?/p>
在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。
矩形超高真空插板閥（氣動(dòng)）
三、矩形超高真空插板閥參數(shù)
類型： 插（閘）板閥
驅(qū)動(dòng)方式： 氣動(dòng)
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 高真空
適用范圍：：1×10-6Pa～1.2×105Pa
打開時(shí)插板上的壓差：≤2×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率：<>
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，0000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置：驅(qū)動(dòng)體水平或垂直
電源：交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣：0.5～0.7MPa
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：根據(jù)公稱通徑而定
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
閥門重量：以不同公稱通徑而定
