四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度
無(wú)耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì),便于集成
四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)原理 | NDIR |
檢測(cè)氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復(fù)性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測(cè)限 | 1ppm |