產(chǎn)品概述；
- maxLIGHT pro是一款集成了直接光束分析儀的高性能光譜儀功能。
- 光譜儀和光束分析儀模式之間的自動(dòng)快速切換可以對(duì)光束特性進(jìn)行驗(yàn)證。該光譜儀具有從1nm 到200nm的像差校正。
- 通過三個(gè)覆蓋范圍1-20nm，5-80nm 和40-200nm 的光柵可以進(jìn)行寬帶光譜測(cè)量。
- 該光譜儀可以在沒有入射狹縫的情況下使用，以在距離光源一定范圍內(nèi)地收集光。
- 模塊化設(shè)計(jì)能夠匹配不同的實(shí)驗(yàn)幾何形狀和配置。
- 具有集成的狹縫支架和濾光片插入單元，以及電動(dòng)光柵定位。
主要特征：
光源直接成像
光源直接成像到檢測(cè)器上，不需要狹窄的入射孔；
比標(biāo)準(zhǔn)版本高大約 20 倍以上的光收集和信噪比；
堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)：
設(shè)計(jì)緊湊，占地面積??；
抗環(huán)境干擾，無狹縫設(shè)計(jì)；
沒有活動(dòng)部件；
光柵位置監(jiān)控，用于保持光柵對(duì)準(zhǔn)。
特殊解決方案：
非磁性儀器
特殊的幾何形狀外殼
電磁脈沖保護(hù)
超真空配置
根據(jù)需求定制
每臺(tái)光譜儀都是經(jīng)過定制的，以匹配所需的應(yīng)用，例如：
提供與實(shí)驗(yàn)箱接口
可調(diào)整光源距離
根據(jù)用戶定義提供濾光片安裝座
Characteristics | maxLIGHT | maxLIGHT plus | maxLIGHT pro |
平場(chǎng)掠入射光譜儀 | ? | ? | ? |
集成光束分析儀 | ? | ||
的無縫設(shè)計(jì)，高效率 | ? | ? | ? |
探測(cè)器可靈活選擇： XUV-CCD或MCP / CCD | ? | ? | ? |
工作壓力<10-6mbar | ? | ? | ? |
可根據(jù)用戶需求定制 | ? | ? | ? |
閃耀光柵進(jìn)一步提高效率 | ? | ? | |
電動(dòng)閉環(huán)三維光柵定位 | ? | ? | |
電動(dòng)二維光柵定位 | ? | ||
濾光片插入裝置 | ? | ? | |
真空閥門 | ? | ? |
【產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)】
SRX光柵 | XUV光柵 | VUV光柵 | |||||
波長(zhǎng)，nm, | 2-20 | 7-80 | 40-200 | ||||
操作模式 | 無狹縫 | 無狹縫 | 無狹縫 | ||||
光源距離，m | 可調(diào) | 可調(diào) | 可調(diào) | ||||
波長(zhǎng)，nm | 2-10 | 3-20 | 7-40 | 10-60 | 25-80 | 40-120 | 100-200 |
平面場(chǎng)尺寸，nm | 35 | 45 | 60 | 55 | 50 | 75 | 110 |
色散，nm/mm | 0.2-0.35 | 0.3-0.4 | 0.5-0.65 | 0.7-1.1 | 0.9-1.3 | 0.9-1.3 | 1.2-1.6 |
分辨率，nm | ＜0.015 | ＜0.017 | ＜0.028 | ＜0.045 | ＜0.05 | ＜0.05 | ＜0.07 |
其他配置（光譜范圍，狹縫操作，高分辨率等）可根據(jù)要求提供。
樣品測(cè)量結(jié)果證明了極紫外波段光譜儀的分辨能力。
所顯示的高次諧波光譜是由單個(gè)飛秒激光脈沖與固體目標(biāo)相互作用和隨后的光譜濾波產(chǎn)生的。極紫外光譜儀清楚地解決了生成過程固有的子結(jié)構(gòu)。圖片上半部分：由 X 射線 CCD 相機(jī)記錄的原始圖像。 圖片下半部分：通過列合并獲得的諧波頻譜。(Plasma Phys. Control. Fusion 53 (2011)124021)
樣品測(cè)量結(jié)果證明了信號(hào)強(qiáng)度的提高。
在相同的信號(hào)強(qiáng)度下，與標(biāo)準(zhǔn)光譜儀（虛線）相比，H + P 光譜儀（實(shí)線）的分辨率明顯更高。與標(biāo)準(zhǔn)方法相同的分辨率需要窄縫設(shè)置，因此信號(hào)強(qiáng)度會(huì)顯著下降。H + P 的無狹縫設(shè)計(jì)可以同時(shí)提高分辨率和信號(hào)強(qiáng)度。(data courtesy of Prof. C. Hauri, Paul Scherrer Inst.
