日本canon數(shù)字檢流計(jì)掃描儀GM-2000系列
主要特點(diǎn)
1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下
與 GM-1000 系列相比，配備新型高脈沖光學(xué)編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*，GM-2015 約為 5.8 倍* 。
GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進(jìn)行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進(jìn)行比較。
2.提高靜態(tài)穩(wěn)定性
高脈沖光學(xué)編碼器和數(shù)字伺服技術(shù)實(shí)現(xiàn)了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態(tài)穩(wěn)定性。
掃描角度（機(jī)械角）：±20°
重復(fù)定位精度 (PP) *2：1μrad
原點(diǎn)重復(fù)精度*2：1μrad
溫度漂移（24小時(shí)）：3μrad
日本canon數(shù)字檢流計(jì)掃描儀GM-2000系列
主要特點(diǎn)
1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下
與 GM-1000 系列相比，配備新型高脈沖光學(xué)編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*，GM-2015 約為 5.8 倍* 。
GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進(jìn)行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進(jìn)行比較。
2.提高靜態(tài)穩(wěn)定性
高脈沖光學(xué)編碼器和數(shù)字伺服技術(shù)實(shí)現(xiàn)了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態(tài)穩(wěn)定性。
掃描角度（機(jī)械角）：±20°
重復(fù)定位精度 (PP) *2 ：1μrad
原點(diǎn)重復(fù)精度*2：1μrad
溫度漂移（24小時(shí)）：3μrad
