天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷德國(guó)aixACCT雙光束激光干涉儀
aixACCT雙光束激光干涉儀
相關(guān)產(chǎn)品介紹:
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?;谛碌臄?shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測(cè)量的主要障礙。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試
-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V(可選)
-壓電d 33系數(shù):
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33:類似于d 33
-C(V)測(cè)量:
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號(hào):(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
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