氦氣檢漏儀型號:MTR8-UL1000庫號:M398408氦氣檢漏儀型號:MTR8-UL1000庫號:M398408
氦氣檢漏儀 型號:MTR8-UL1000
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INFICON UL1000型氦氣檢漏儀尤其適用于元器件檢漏的要求:靈活性測試,高靈敏度,快速與的結(jié)果,快速啟動,移動性和系統(tǒng)的可靠性。
UL-1000符合微電子工業(yè)市場的要求。其特點從兼顧的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子,至I.CAL*,的,用于消除在10-11至10-12高靈敏漏率范圍中長平衡時間的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL-1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
Intelligent Calculation Algorithm of Leak rates智能化漏率計算機程序可提供UL-1000在10-12毫巴.升每秒范圍內(nèi)無比*的測速速度。使它成為真正的量程.智能化漏率計算機程序可提供UL-1000在10-12毫巴.升每秒范圍內(nèi)無比*的測速速度。使它成為真正的量程.