反滲透+混床超純水設(shè)備系統(tǒng)是現(xiàn)代電子工業(yè),如:半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)制備純水、超純水zui常用、*的系統(tǒng)工藝。
一、現(xiàn)代工業(yè)用純水的分類
工業(yè)純水處理設(shè)備主要用于工業(yè)用水的凈化處理,使工業(yè)用水達(dá)到或超過(guò)國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),保證工業(yè)用水質(zhì)量。操作方式:手動(dòng)控制或全自動(dòng)控制。
各種工業(yè)用水,按其使用方式可分為直接用水和間接用水兩大類。直接用水,系要求優(yōu)良的水質(zhì);間接用水,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量一般沒(méi)有影響,出于防腐和防垢等的要求不同,而需要采用不同的水質(zhì)。
1、原料用水。原料用水是指直接作為原料或作為原料的一部分而使用的水。在飲料、食品加工工業(yè)中,水質(zhì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響較大,的水質(zhì)應(yīng)無(wú)色、無(wú)味、無(wú)濁,鹽類含量適當(dāng),氨、氮、亞硝酸鹽、細(xì)菌等則要求優(yōu)質(zhì)的純水。
2、產(chǎn)品處理用水。指在生產(chǎn)過(guò)程中用作洗滌、漂染、打漿等,故也要求較好的水質(zhì)。其水質(zhì)要求大致與原料用水相同。電子工業(yè)等用水則要求優(yōu)質(zhì)的純水。
3、鍋爐用水。由于水的硬度高會(huì)使鍋爐內(nèi)結(jié)垢,致使鍋爐熱效率降低;溶解氧和鹽類會(huì)引起鍋爐及管路的腐蝕;因此,鍋爐對(duì)水的硬度、含鹽量、堿度、等均有嚴(yán)格的指標(biāo)要求。
4、冷卻用水。冷卻用水的作用是冷卻熱介質(zhì),所以防止其腐結(jié)垢和微生物危害是冷卻水處理的三大任務(wù)。因此,冷卻水的水質(zhì),對(duì)硬度、懸浮物、溶解氣體、油及其它有機(jī)物、藻類及微生物等都應(yīng)嚴(yán)格控制。
三、電子工業(yè)用超純水特點(diǎn)
在現(xiàn)代電子工業(yè)高速發(fā)展的今天,工業(yè)生產(chǎn)對(duì)用水的要求也非常高。如半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
四、幾種常用的超純水制取工藝
1、采用兩級(jí)反滲透制取超純水工藝;
2、采用反滲透+離子交換法制取超純水工藝;
3、采用反滲透+EDI法制取電子工業(yè)超純水工藝 ;
而采用反滲透+混床離子交換系統(tǒng)工藝是現(xiàn)代電子行業(yè)工業(yè)生產(chǎn)用純水、超純水zui常用的生產(chǎn)工藝。
五、電子工業(yè)用超純水系統(tǒng)幾種常用的工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過(guò)濾器→中間緩沖水箱→增壓泵→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過(guò)濾器→中間緩沖水箱→反滲透設(shè)備→增壓泵→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
3、采用反滲透水處理設(shè)備+EDI電除離子設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸亍鰤罕谩盀V→炭濾→軟水器→精密過(guò)濾器→中間緩沖水箱→反滲透設(shè)備→RO水箱→增壓泵→EDI設(shè)備→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
六、電子工業(yè)超純水設(shè)備特點(diǎn)
電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(或EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人值守,同時(shí)在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
七、電子工業(yè)用超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
關(guān)鍵詞:反滲透 混床