在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過近年來電子級水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。 高純水絮凝劑的國家標(biāo)準(zhǔn)為:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級水分為五個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而制定的。 高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項指標(biāo)的主要依據(jù)有:1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。 在高純水的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子聚丙烯酰胺絮凝劑可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的細(xì)菌,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導(dǎo)致低擊穿,產(chǎn)生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。絮凝劑按照其化學(xué)成分總體可分為無機絮凝劑和有機絮凝劑兩類。其中無機絮凝劑又包括無機凝聚劑和無機高分子絮凝劑;有機絮凝劑又包括合成有機高分子絮凝劑、天然有機高分子絮凝劑和微生物絮凝劑。凈水劑:投放入水中能和水中其它雜質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng)的藥劑。主要是起到凈水的目的。常用到的凈水劑有聚合氯化鋁、聚合氯化鋁鐵、堿式氯化鋁、聚丙烯酰胺絮凝劑、*、硫酸鋁、聚合硫酸鐵等?;炷齽褐形拿Q:混凝劑英文名稱:coagulate flocculating agent定義:原水凈化過程中加入的一類化學(xué)藥劑,能夠加速水中膠體微粒凝聚和絮凝成大顆粒。常用的混凝劑有無機鹽類、無機鹽聚合物、有機類化合物。凝聚劑:(coagulant)指的是讓不穩(wěn)定的膠體微粒(或者凝結(jié)過程中形成的微粒)聚合在一起形成集合體的過程中所投加的藥劑的統(tǒng)稱。
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