設(shè)備主要特點(diǎn) ◆用工業(yè)微機(jī)對(duì)工藝時(shí)間,溫度,氣體流量,閥門動(dòng)作,反應(yīng)室壓力實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制. ◆采用進(jìn)口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)系統(tǒng),穩(wěn)定性高. ◆采用進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件,閥門,確保氣路氣密性. ◆具有完善的報(bào)警功能及安全互鎖裝置. ◆具有超高溫報(bào)警及欠溫報(bào)警,MFC報(bào)警,反應(yīng)室壓力報(bào)警,RF報(bào)警,高壓空氣壓力報(bào)警,N2壓力報(bào)警.水流報(bào)警等。 類型 ◆工藝過(guò)程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*控；有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安全、環(huán)保。 ◆裝片數(shù)量： 250片/每爐管 ◆凈化臺(tái)潔凈度：100級(jí)（10000級(jí)廠房） ◆自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。主控溫控模塊采用日本導(dǎo)電或同類品牌，可在達(dá)到±0.5℃的控制精度。 ◆送取片方式：懸臂式推拉舟。我公司推拉系統(tǒng)采用光杠傳動(dòng)系統(tǒng)，本系統(tǒng)比絲杠傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)行更平穩(wěn)，避免了推拉舟長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后由于絲杠變形引起的推拉舟的震動(dòng)；防止突然斷電時(shí)，絲杠抱死，拖不出爐膛。 設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo) ◆ 溫度使用范圍：150～600℃ ◆ 極限真空度： 優(yōu)于1Pa ◆ 壓力調(diào)節(jié)范圍：13～300Pa 連續(xù)可調(diào)，閉環(huán)控制 ◆ 射頻電源： 400KHz連續(xù)可調(diào) ◆ 溫區(qū)長(zhǎng)度（150～400℃）：1000mm ◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（400℃）： ±2℃ ◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（＜400℃）： ±3℃ ◆ 溫度梯度： 0～30℃/1000mm可調(diào) ◆ 淀積速率： 30nm/min ◆ 深層折射率： 1.9～2.2 ◆ zui大可控升溫速度：15℃/min ◆ zui大降溫速度：5℃/min |
PECVD設(shè)備 產(chǎn)品信息
