光電位置傳感器報(bào)價(jià)光電位置傳感器報(bào)價(jià)型號:DR777-25*25MM庫號:M64411 查看hh
光電位置傳感器
(PSD)
PSD 光電位置探測器
PSD(Position Sensitive Detectors)是一種能測量光點(diǎn)在探測器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測器。PSD 由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻組成。與 CCD 探測器相比,PSD 有諸多優(yōu)點(diǎn),如位置分辨率高,響應(yīng)速度快和處理電路簡單等。另外,位置信號與落在探測器上的光斑形狀無關(guān)。
我所可提供各種精度和規(guī)格尺寸的 PSD 探測器。
特點(diǎn)
●位置分辨率高
●光譜響應(yīng)寬
●響應(yīng)速度快
●位置和光強(qiáng)同時測量
●不受光斑的約束
●性高
應(yīng)用范圍
●光學(xué)位置和角度的探測
●光學(xué)遙測系統(tǒng)
●位移和振動測量
●激光對中和準(zhǔn)直
●距離測試
●人類運(yùn)動姿態(tài)分析
工作原理與PSD 特點(diǎn)
1結(jié)構(gòu)
如圖 1 截面圖所示,PSD 由在平面硅襯底上的三層組成:P 型層在表面,N 型層在另一面,I 層在它們中間。落在 PSD 上的入射光轉(zhuǎn)換成光電子后由 P 型層上兩端電極探測并形成光電流。
圖 1
2原理
當(dāng)一束光落在 PSD 上,相應(yīng)于光能量的電荷在入射點(diǎn)產(chǎn)生,電荷通過 P 型電阻層被電極收集。P 型層是均勻一體的電阻層,被電極收集到的光電流與入射點(diǎn)和電極間距成反比。
由此可得出如下公式:I1 和 I2 是電極的光電流,
L 和 I0 分別代表電極間距和總光電流。
圖 2
當(dāng) PSD 幾何中心設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn):
I ? 1 (1 ? 2 x )I
----------(1)
I ? 1 (1 ? 2 x
)I (2)
1 2 L A 0 2 2 L A 0
I 2 ? I1 ? 2x A
----------(3)
I1 ? L ? 2x A
----------(4)
I1 ? I 2 L I 2 L ? 2x A
當(dāng) PSD 一端設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn):
I ? L ? x B I
1 L 0
----------(5)
I ? x B I
2 L 0
-----------(6)
I 2 ? I1 ? 2x B ? L
----------(7)
I1 ? L ? 2x B
----------(8)
I1 ? I 2 L I 2 x B
由公式(3),(4),(7),(8)顯示,不同的比率可得出相應(yīng)的與光能量無關(guān)的入射光點(diǎn)的位置。
3一維 PSD
PSD 分兩種類型:一維 PSD(稱 1D-PSD)和兩維 PSD(稱 2D-PSD)探測器,圖 3a 是
1D-PSD 的結(jié)構(gòu)圖。
a b
圖 3
圖 3b 是 1D-PSD 的等效電路圖。由于有寄生 Cj 和 Rp,它們的時間常數(shù)決定了 PSD 的響應(yīng)速度。通過集成電路處理,1D-PSD 可用于探測 100ps 脈沖寬度的激光光斑。
42D-PSD
2D-PSD 是一種改進(jìn)型四側(cè)面結(jié)構(gòu),包括改進(jìn)敏感面和電極。另外,器件暗電流小,響應(yīng)速度高和設(shè)置偏壓容易,邊緣畸變小。
圖 5
5轉(zhuǎn)換公式
PSD 光敏面上光點(diǎn)位置可由如下公式得出:這里 X1 和 X2 代表每一電極輸出信號(光電
流),x 是光點(diǎn)位置坐標(biāo)。
X 2 ? X 1 ? 2x
X 1 ? X 2 L
圖 6
( X 2 ? Y1 ) ? ( X 1 ? Y2 ) ? 2x
X 1 ? X 2 ? Y1 ? Y2 L
( X 2 ? Y2 ) ? ( X 1 ? Y1 ) ? 2 y
圖 7
6電路
圖 8 是 1D-PSD 直流處理電路原理圖。Vr 是偏置電壓。
X 1 ? X 2 ? Y1 ? Y2 L
圖 8
7PSD 處理電路
我所可提供 1D-PSD 和 2D-PSD 信號處理電路。1D-PSD,2D-PSD 分別是 1D-PSD 和2D-PSD 非調(diào)制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源,位置信號就能得到。
本所研制開發(fā)了調(diào)制信號處理電路,數(shù)據(jù)可以液晶顯示,可以通過 RS232 口與計(jì)算機(jī)通訊。
本所還具有 PSD 應(yīng)用整機(jī)開發(fā)的實(shí)力。
PSD 探測器
●W101(1D-PSD)
光敏面 1×3mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.5μs
工作溫度 -10~60℃
●W103(1D-PSD)
光敏面 1×15mm
分辨率 0.1μm
●W104(1D-PSD)
光敏面 2.0×20mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10~60℃
●W105(1D-PSD)
光敏面 2.5×34mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10~60℃
●W201(2D-PSD)
光敏面 10×10mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10~60℃
●W202(2D-PSD)
光敏面 15×15mm
分辨率 1μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 0.8μs
工作溫度 -10~60℃
●W203(2D-PSD)
光敏面 21×21mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 1μs
工作溫度 -10~60℃
●W204(2D-PSD)
光敏面 27×27mm
分辨率 2μm
●W205(2D-PSD)
光敏面 43×43mm
分辨率 5μm
光譜響應(yīng)范圍 380~1100nm
響應(yīng)時間 5μs
工作溫度 -10~60℃
輔助產(chǎn)品
●PSD 精度標(biāo)定系統(tǒng)
W203(2D-PSD)技術(shù)參數(shù)
光電參數(shù) 符號 測試條件 典型值 單位
光敏面面積 φ 25×25 mm
光譜相應(yīng) λ 320~1100 nm
光譜峰值相應(yīng) λ Vr=5V, 920 nm
靈敏度 Re Vr=5V,
λ=920nm 0.5 A/W
位置分辨率 Pr 1.5 μm
位置檢測誤差 E A 區(qū):±80, B 區(qū):±150 μm
暗電流 Id Vr=5V, 100 nA
工作電壓 VR 5 V
工作溫度 T -10~50 ℃