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高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號KJ-T1500CVD-DZ

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更新時間：2022-09-01 15:45:20瀏覽次數(shù)：190次

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：206條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳科（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究。

產(chǎn)品特點：
1、該系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，智能控溫?zé)o需要人看守。
2、爐膛采購氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，密封法蘭上安裝有相關(guān)進(jìn)氣口及出氣口

應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制高溫CVD系統(tǒng)
沉積爐
產(chǎn)品型號	KJ-T1500CVD-DZ
爐膛模式	開啟式
爐膛材料	氧化鋁耐火纖維
加熱元件	U型硅鉬棒
極限溫度	1600℃高溫區(qū)
工作溫度	≤1500℃高溫區(qū)
升溫速率	≤10℃/min
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū)
溫區(qū)總長度	200、300、400mm
爐管材質(zhì)	剛玉管
爐管直徑	40、50、60、80、100mm
密封方式	定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個進(jìn)氣口方便進(jìn)氣底部法蘭加支架方便工件放在沉積爐低溫區(qū)
控制模式	每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫
溫度曲線	多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
測溫元件	B型雙鉑銠熱電偶
供電電源	220V/380V 50HZ
供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上
氣體通道	可同時連接多種氣源
流量計	浮子流量計
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管	1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
溫度	700
工作溫度	500
爐膛尺寸	定制
開門方式	上開
進(jìn)氣口	一個進(jìn)氣口
出氣口	一個出氣口
售后服務(wù)	12個月質(zhì)保（易耗件及人為損壞除外），終身保修

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。