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準方硅片（156×156（mm））
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- 特變電工新疆新能源股份有限公司
- 2018-05-15 15:04:55
- 755
【簡單介紹】
【詳細說明】
型號 156×156（mm） 125×125（mm） 生長方法 柴氏法CZ 柴氏法CZ 型號摻雜 P/N型摻硼/磷 P/N型摻硼/磷 晶向偏差 <100>±2° <100>±2° 氧含量 ≤1.0×1018 atoms/cm3 ≤1.0×1018 atoms/cm3 碳含量 ≤5.0×1016 atoms/cm3 ≤5.0×1016 atoms/cm3 少子壽命 ＞10μs ＞10μs 電阻率 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 位錯 ≤2000/cm2 ≤2000/cm2 準方邊長 156±0.5 mm 125±0.5 mm 對角線尺寸 200±0.5 mm 150±0.5 mm 翹曲度 ≤70µm 70µm TTV ≤40μm 40μm |
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