一．用途:

PVC無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二．特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標(biāo)：

   無(wú)塵等級(jí)：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

   溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         

   電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理

HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。*小限度控制風(fēng)速距離。

M計(jì)裝可編程控制

1模式20步驟，*多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝

標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

型號(hào) 溫度范圍內(nèi)容積其它參數(shù)內(nèi)尺寸

（W×H×Dmm）外尺寸

（W×H×Dmm）

OVEN C178(RT+60)～+200℃178L潔凈度：100級(jí)580×530×580770×1,280×1,025

OVEN C380(RT+60)～+200℃380L潔凈度：100級(jí)580×1130×580770×1,880×1,025

OVEN C678(RT+60)～+200℃678L潔凈度：100級(jí)800×1130×7501,030×1,880×1,025

OVEN CH178(RT+60)～+300℃178L潔凈度：100級(jí)580×530×580770×1,280×1,025

OVEN CH380(RT+60)～+300℃380L潔凈度：100級(jí)580×1,130×580770×1,880×1,025

OVEN CH678(RT+60)～+300℃678L潔凈度：100級(jí)800×1,130×7501030×1,880×1,210

OVEN CH347(RT+60)～+300℃347L潔凈度：100級(jí)580×1,130×530770×1,880×1,025

OVEN CH633(RT+60～+300℃633L潔凈度：100級(jí)800×1,130×7001,030×1,880×1,210

2、箱體結(jié)構(gòu)：

   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；

   內(nèi)膽材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；

   中桶材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：

   采用韓國(guó)“三元"SAMWONTECH溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，**度±0.3%FS。；

   訊號(hào)來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%。

   輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

4、完善的**保護(hù)措施：

漏電斷路器、     控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、

馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面**開關(guān)

5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi))：

   可程式溫控器        無(wú)紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。