當(dāng)前位置：利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處>>>>四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號XT100（M）

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地北京市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：劉建輝查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-14 17:15:03瀏覽次數(shù)：934次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無信息

利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：劉建輝（區(qū)域經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點(diǎn)及應(yīng)用：

操作簡單

可靠，方便

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

改善質(zhì)量

提高流片量

減少停機(jī)時間

改進(jìn)工藝

縮小工藝周期

降低成本

詳細(xì)介紹

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點(diǎn)及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•減少停機(jī)時間

•改進(jìn)工藝

•縮小工藝周期

•降低成本

規(guī)格：

測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M）	1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu
檢測類型	法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）	5×10^-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率	1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強(qiáng)	10^-11torr或10^-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍	10^-4torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度	40°C
烘烤溫度	300°C（不包括CCU）
通訊端口	RS-232C，115,200 Baud
軟件運(yùn)行環(huán)境	Windows® 2000或XP