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更新時間:2017-03-09 17:04:47瀏覽次數(shù):879次
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小型磁控濺射鍍膜儀,主要特點是設(shè)備體積小,結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作,對實驗室供電要求低;該系列設(shè)備主要部件采用進口或者國內(nèi)*的配置,從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇,可以根據(jù)客戶的不同需求進行配置,比較靈活;標配2只Φ2英寸永磁靶,一臺500W直流濺射電源,主要用來開發(fā)納米級
小型磁控濺射鍍膜儀,主要特點是設(shè)備體積小,結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作,對實驗室供電要求低;該系列設(shè)備主要部件采用進口或者優(yōu)的配置,從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇,可以根據(jù)客戶的不同需求進行配置,比較靈活;標配2只Φ2英寸永磁靶,一臺500W直流濺射電源,主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。
2.1 實用性:設(shè)備集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件;通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,實現(xiàn)一機多用;
2.2 方便性:設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接線及安裝調(diào)試簡單,既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔;
2.3 高性價比:設(shè)備主要零部件采用進口或國內(nèi),以國產(chǎn)設(shè)備的價格擁有進口設(shè)備的配置,從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能;
2.4 安全性:獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能,保證了設(shè)備的使用安全性能;
3.1 腔室尺寸:Ф246×228mm,1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),氬弧焊接;
3.2 樣品臺尺寸:Ф75mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào);
3.3 真空系統(tǒng):機械泵(TRP-12,3L/s)+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)(可選國產(chǎn)分子泵);GDC-25b電磁擋板閥,DN25mm 限流閥;
3.4 極限真空:8.0×10-5Pa;
3.5 真空抽速:大氣~8×10-4Pa ≤ 20min;
3.6 真空測量:全量程復(fù)合真空計,測量范圍:105Pa~10-5Pa;
3.7 磁控靶:Φ2英寸2只(含靶擋板),兼容直流電源和射頻電源;
3.8 濺射電源:直流和射頻可選;
3.9 質(zhì)量流量計:20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套;
3.10控制方式:PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能;
3.11設(shè)備外形:L60cm×W60cm×H96cm機電一體化機架,預(yù)留1個KF40法蘭接口;
3.12 設(shè)備供電總功率≤2KW,220V,單相三線制(一火一零一地);
3.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng):水壓0.2~0.4MPa,水溫10~25℃,給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水
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